| dbo:abstract
|
- L' Espectroscòpia electrònica Auger és una tècnica analítica utilitzada en la i en la ciència de materials. Es basa en el procés emissió Auger mitjançant el bombardeig d'una mostra amb raigs X o electrons energètics en el rang de 2-50 keV. (ca)
- مطيافية إلكترون أوجيه (Auger electron spectroscopy) هي تقنية تحليلة عامة تستخدم بشكل خاص في دراسة السطوح وبشكل أعم في مجال علم المواد. تعتمد هذه التقنية على ما يسمى بتأثير أوجيه كما يوضح الاسم. تعتمد هذه التقنية على تحليل الالكترونات الطاقية المحررة من ذرة محرضة بعد عدد من أحداث الاسترخاء داخل الذرة. (ar)
- Die Augerelektronenspektroskopie [oʒe-] (AES, nach Pierre Auger) ist eine spektroskopische Methode zur hochempfindlichen und zerstörungsfreien Untersuchung der chemischen Zusammensetzung einer Materialoberfläche. Sie beruht auf dem Auger-Effekt, durch den ein Atom, das in geeigneter Weise angeregt wurde, ein Elektron mit einer bestimmten, je nach chemischem Element verschiedenen kinetischen Energie aussendet.Bei der Augerelektronenspektroskopie wird das Energiespektrum der Elektronen aufgenommen, die beim Beschuss einer Oberfläche mit einem Elektronen-, Röntgen- oder UV-Strahl mit Energien bis zu einigen Kiloelektronvolt freigesetzt werden. Die Strahlung erzeugt die für den Auger-Effekt nötigen Lochzustände. Die Auger-Elektronen eines bestimmten Übergangs machen sich durch einen Peak im Spektrum bemerkbar, dessen Energie eindeutig auf die Ordnungszahl des emittierenden Atoms schließen lässt. Die Augerelektronenspektroskopie ist aufgrund der geringen Reichweite von Elektronen im relevanten Energiebereich (ca. 50 eV bis 3 keV) eine sehr oberflächenspezifische Methode. Die erfasste Materialschicht umfasst typischerweise nur die obersten zehn Atomlagen. Das Verfahren kann daher sehr effizient zur örtlich hochauflösenden (0,01 µm bis 100 µm) Detektierung von Verunreinigungen benutzt werden. Die Nachweisgrenze der Augerelektronenspektroskopie liegt bei ca. 0,01–0,1 at%. Erst ab diesem Wert lässt sich der AES-Peak auswerten. Soll dagegen wirklich das reine Material erfasst werden und nicht unabsichtlich aufgebrachte Verunreinigungen, die bei der Probenpräparation entstanden sind, so müssen diese zum Beispiel durch Sputtern mit Argon entfernt werden. Mit einem Augerelektronenspektroskop können auch Bilder von der Art eines Rasterelektronenmikroskops (REM) erzeugt werden. Hierfür ist ein Sekundärelektronendetektor nötig, der die Sekundärelektronen in ein REM-Bild umwandelt. So lässt sich eine vergleichbare Auflösung wie bei einem „gewöhnlichen“ REM erzielen. Neben dieser Funktion kann man zur Bilderstellung auch noch den AES-Detektor nutzen. So lassen sich Bilder aufnehmen, die eine Materialinformation tragen. Dieses Verfahren nennt sich Raster-Augerelektronenmikroskopie (engl. scanning Auger microscopy, SAM). Bei der Photoelektronenspektroskopie treten aus der mit Ultraviolett- oder Röntgenstrahlung bestrahlten Oberfläche außer den Photoelektronen auch Auger-Elektronen aus. Dadurch werden in den Energiespektren zusätzliche „Auger-Peaks“ verursacht. Diese unterscheiden sich von den „Photopeaks“ dadurch, dass ihre Energie nicht mit der Energie der eingestrahlten Photonen variiert. (de)
- Auger electron spectroscopy (AES; pronounced [oʒe] in French) is a common analytical technique used specifically in the study of surfaces and, more generally, in the area of materials science. It is a form of electron spectroscopy that relies on the Auger effect, based on the analysis of energetic electrons emitted from an excited atom after a series of internal relaxation events. The Auger effect was discovered independently by both Lise Meitner and Pierre Auger in the 1920s. Though the discovery was made by Meitner and initially reported in the journal Zeitschrift für Physik in 1922, Auger is credited with the discovery in most of the scientific community. Until the early 1950s Auger transitions were considered nuisance effects by spectroscopists, not containing much relevant material information, but studied so as to explain anomalies in X-ray spectroscopy data. Since 1953 however, AES has become a practical and straightforward characterization technique for probing chemical and compositional surface environments and has found applications in metallurgy, gas-phase chemistry, and throughout the microelectronics industry. (en)
- La espectroscopia electrónica Auger es una técnica analítica usada en la ciencia de superficies y en la ciencia de materiales. Se basa en el proceso emisión Auger por medio del bombardeo de una muestra con rayos X o electrones energéticos en el rango de 2-50 keV. (es)
- オージェ電子分光（オージェでんしぶんこう、Auger electron spectroscopy、AES）は、電子分光のひとつ。 真空中でX線または電子線を測定対象に照射し、放出されるオージェ電子の速度（運動エネルギー）を分析する。 測定対象は気体分子または固体表面に限られるが、ことに固体では中速電子線の励起深さ、脱出深さが数nm以下に限られるので、最表面の分析手法として最も利用価値が高い。固体表面の清浄度、組成、吸着種、薄膜等の検出・測定に広く用いられている。 (ja)
- La spettroscopia Auger o AES, acronimo dell'inglese Auger Electron Spectroscopy, (da non confondere con l'omonimo acronimo inglese della spettroscopia di emissione atomica, Atomic Emission Spectroscopy) è una delle tecniche spettroscopiche di analisi di superficie.Fornisce, infatti, la composizione elementare di una superficie utilizzando un fascio elettronico ad alta energia per sondare la superficie più esterna (20-30 Å) del campione in analisi (aree dell'ordine del μm). (it)
- Spektroskopia elektronów Augera AES (ang. Auger Electron Spectroscopy) – jedna z odmian spektroskopii elektronowej, polegająca na analizie rozkładu energetycznego elektronów Augera. Cała metoda bazuje na efekcie Augera, czyli bezpromienistym przejściu elektronu na niższą powłokę (energia wzbudzenia oddawana jest trzeciemu elektronowi, który opuszcza atom). (pl)
- Auger-elektronspectroscopie (AES) is een oppervlakteanalyse-techniek waarmee men kan karakteriseren welke elementen lokaal op een vast oppervlak voorkomen. Deze elementen zijn deel van het oppervlak zelf of zijn erop geadsorbeerd. Een praktisch voorbeeld is dat met auger-elektronspectroscopie wordt gecontroleerd of het oppervlak van kristallen verontreinigd is. Het is een spectroscopische karakteriseringsmethode voor metalen en een aantal organische materialen. (nl)
- Оже-спектроскопія — область електронної спектроскопії, в основі якої лежать вимірювання енергії та інтенсивності висилання оже-електронів. За способом отримання інформації про поверхні методи аналізу поділяються на емісійні, в яких використовується емісія частинок в результаті дії на поверхню різних факторів (температура, електричне поле), та зондувальні, що засновані на емісії частинок або випромінювання, що діють на досліджувану поверхню. Метод електронної оже-спектроскопії відноситься до зондувального методу. Він заснований на аналізі розподілених по енергії електронів, емітованих досліджуваною речовиною під дією пучка первинних електронів та виділення з загального енергетичного спектру тих, які виникли в результаті оже-процесу. Їхня енергія визначає енергетичну структуру оболонок атомів, що беруть участь у процесі, а струм в першому наближенні — їх концентрацією. Оже-процеси проявляються при бомбардуванні поверхні твердого тіла повільними електронами з енергією ЕР від 10 до 10000 еВ. Бомбардування твердих тіл у вакуумі супроводжується вторинною електронною емісією. До складу вторинних електронів, що емітуються, крім власне вторинних електронів, входять пружньо- та непружньорозсіяні первинні електрони. (uk)
- 俄歇电子能谱学（Auger electron spectroscopy，簡稱AES），是一种表面科学和材料科学的分析技术。因此技術主要藉由俄歇效應進行分析而命名之。產生於受激發的原子的外層電子跳至低能階所放出的能量被其他外層電子吸收而使後者逃脫離開原子，這一連串事件稱為俄歇效應，而逃脫出來的電子稱為俄歇電子。1953年，俄歇电子能谱逐漸開始被實際應用於鑑定樣品表面的化學性質及組成的分析。其特點是俄歇電子來自淺層表面，僅帶出表面的資訊，並且其能譜的能量位置固定，容易分析。 (zh)
- Оже-спектроскопия — метод электронной спектроскопии, основанный на анализе распределения по энергии электронов, возникших в результате Оже-эффекта. По способу получения информации о поверхности методы анализа делятся на эмиссионные, в которых используется эмиссия частиц в результате воздействия на поверхность различных факторов (температура, электрическое поле), и зондирующие, основанных на эмиссии частиц или излучения, действующие на исследуемую поверхность. Метод электронной оже-спектроскопии относится к зондирующим методам. Он основан на анализе распределения энергии электронов, эмитированных исследуемым веществом под действием пучка первичных электронов, и выделении из общего энергетического спектра тех, которые возникли в результате оже-процесса. Их энергия определяется энергетической структурой оболочек атомов, участвующих в процессе, а ток в первом приближении — концентрацией таких атомов. Оже-процессы проявляются при бомбардировке поверхности твердого тела медленными электронами с энергией E от 10 до 10000 эВ. Бомбардировка твердых тел в вакууме сопровождается вторичной электронной эмиссией. В состав вторичных электронов, эмитируемых, кроме собственно вторичных электронов, входят упруго- и неупругорассеянные первичные электроны. (ru)
|
| rdfs:comment
|
- L' Espectroscòpia electrònica Auger és una tècnica analítica utilitzada en la i en la ciència de materials. Es basa en el procés emissió Auger mitjançant el bombardeig d'una mostra amb raigs X o electrons energètics en el rang de 2-50 keV. (ca)
- مطيافية إلكترون أوجيه (Auger electron spectroscopy) هي تقنية تحليلة عامة تستخدم بشكل خاص في دراسة السطوح وبشكل أعم في مجال علم المواد. تعتمد هذه التقنية على ما يسمى بتأثير أوجيه كما يوضح الاسم. تعتمد هذه التقنية على تحليل الالكترونات الطاقية المحررة من ذرة محرضة بعد عدد من أحداث الاسترخاء داخل الذرة. (ar)
- La espectroscopia electrónica Auger es una técnica analítica usada en la ciencia de superficies y en la ciencia de materiales. Se basa en el proceso emisión Auger por medio del bombardeo de una muestra con rayos X o electrones energéticos en el rango de 2-50 keV. (es)
- オージェ電子分光（オージェでんしぶんこう、Auger electron spectroscopy、AES）は、電子分光のひとつ。 真空中でX線または電子線を測定対象に照射し、放出されるオージェ電子の速度（運動エネルギー）を分析する。 測定対象は気体分子または固体表面に限られるが、ことに固体では中速電子線の励起深さ、脱出深さが数nm以下に限られるので、最表面の分析手法として最も利用価値が高い。固体表面の清浄度、組成、吸着種、薄膜等の検出・測定に広く用いられている。 (ja)
- La spettroscopia Auger o AES, acronimo dell'inglese Auger Electron Spectroscopy, (da non confondere con l'omonimo acronimo inglese della spettroscopia di emissione atomica, Atomic Emission Spectroscopy) è una delle tecniche spettroscopiche di analisi di superficie.Fornisce, infatti, la composizione elementare di una superficie utilizzando un fascio elettronico ad alta energia per sondare la superficie più esterna (20-30 Å) del campione in analisi (aree dell'ordine del μm). (it)
- Spektroskopia elektronów Augera AES (ang. Auger Electron Spectroscopy) – jedna z odmian spektroskopii elektronowej, polegająca na analizie rozkładu energetycznego elektronów Augera. Cała metoda bazuje na efekcie Augera, czyli bezpromienistym przejściu elektronu na niższą powłokę (energia wzbudzenia oddawana jest trzeciemu elektronowi, który opuszcza atom). (pl)
- Auger-elektronspectroscopie (AES) is een oppervlakteanalyse-techniek waarmee men kan karakteriseren welke elementen lokaal op een vast oppervlak voorkomen. Deze elementen zijn deel van het oppervlak zelf of zijn erop geadsorbeerd. Een praktisch voorbeeld is dat met auger-elektronspectroscopie wordt gecontroleerd of het oppervlak van kristallen verontreinigd is. Het is een spectroscopische karakteriseringsmethode voor metalen en een aantal organische materialen. (nl)
- 俄歇电子能谱学（Auger electron spectroscopy，簡稱AES），是一种表面科学和材料科学的分析技术。因此技術主要藉由俄歇效應進行分析而命名之。產生於受激發的原子的外層電子跳至低能階所放出的能量被其他外層電子吸收而使後者逃脫離開原子，這一連串事件稱為俄歇效應，而逃脫出來的電子稱為俄歇電子。1953年，俄歇电子能谱逐漸開始被實際應用於鑑定樣品表面的化學性質及組成的分析。其特點是俄歇電子來自淺層表面，僅帶出表面的資訊，並且其能譜的能量位置固定，容易分析。 (zh)
- Auger electron spectroscopy (AES; pronounced [oʒe] in French) is a common analytical technique used specifically in the study of surfaces and, more generally, in the area of materials science. It is a form of electron spectroscopy that relies on the Auger effect, based on the analysis of energetic electrons emitted from an excited atom after a series of internal relaxation events. The Auger effect was discovered independently by both Lise Meitner and Pierre Auger in the 1920s. Though the discovery was made by Meitner and initially reported in the journal Zeitschrift für Physik in 1922, Auger is credited with the discovery in most of the scientific community. Until the early 1950s Auger transitions were considered nuisance effects by spectroscopists, not containing much relevant material in (en)
- Die Augerelektronenspektroskopie [oʒe-] (AES, nach Pierre Auger) ist eine spektroskopische Methode zur hochempfindlichen und zerstörungsfreien Untersuchung der chemischen Zusammensetzung einer Materialoberfläche. Sie beruht auf dem Auger-Effekt, durch den ein Atom, das in geeigneter Weise angeregt wurde, ein Elektron mit einer bestimmten, je nach chemischem Element verschiedenen kinetischen Energie aussendet.Bei der Augerelektronenspektroskopie wird das Energiespektrum der Elektronen aufgenommen, die beim Beschuss einer Oberfläche mit einem Elektronen-, Röntgen- oder UV-Strahl mit Energien bis zu einigen Kiloelektronvolt freigesetzt werden. Die Strahlung erzeugt die für den Auger-Effekt nötigen Lochzustände. Die Auger-Elektronen eines bestimmten Übergangs machen sich durch einen Peak im Sp (de)
- Оже-спектроскопия — метод электронной спектроскопии, основанный на анализе распределения по энергии электронов, возникших в результате Оже-эффекта. По способу получения информации о поверхности методы анализа делятся на эмиссионные, в которых используется эмиссия частиц в результате воздействия на поверхность различных факторов (температура, электрическое поле), и зондирующие, основанных на эмиссии частиц или излучения, действующие на исследуемую поверхность. Метод электронной оже-спектроскопии относится к зондирующим методам. Он основан на анализе распределения энергии электронов, эмитированных исследуемым веществом под действием пучка первичных электронов, и выделении из общего энергетического спектра тех, которые возникли в результате оже-процесса. Их энергия определяется энергетической (ru)
- Оже-спектроскопія — область електронної спектроскопії, в основі якої лежать вимірювання енергії та інтенсивності висилання оже-електронів. За способом отримання інформації про поверхні методи аналізу поділяються на емісійні, в яких використовується емісія частинок в результаті дії на поверхню різних факторів (температура, електричне поле), та зондувальні, що засновані на емісії частинок або випромінювання, що діють на досліджувану поверхню. Метод електронної оже-спектроскопії відноситься до зондувального методу. Він заснований на аналізі розподілених по енергії електронів, емітованих досліджуваною речовиною під дією пучка первинних електронів та виділення з загального енергетичного спектру тих, які виникли в результаті оже-процесу. Їхня енергія визначає енергетичну структуру оболонок атомі (uk)
|
.jpg?width=300)
.jpg){kind=link}
.jpg){kind=link}