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- Novolake (fälschlicherweise oft Novolacke) sind Phenolharze mit einem Formaldehyd-Phenol-Verhältnis kleiner als 1:1, die durch saure Kondensation der Edukte erhalten werden. Novolake sind thermoplastisch und können durch Zusätze von Formaldehydspendern wie z. B. Hexamethylentetramin gehärtet werden. Dies ergibt dann unschmelzbare Phenoplaste. Kombiniert mit fotosensitiven Substanzen, wie beispielsweise Diazonaphthochinon, werden Novolake in der Mikroelektronik und Mikromechanik zur Fotolithografie als Fotolack eingesetzt. Nach Belichtung und Entwicklung bleibt eine strukturierte Lackoberfläche übrig, die das Substrat vor dem nächsten Prozessschritt (z. B. Ionenimplantation, galvanisches Aufwachsen von Metall, thermische Oxidation, Ätzen etc.) schützen. Novolake werden in der Regel durch einen Spin Coater auf ein Substrat aufgeschleudert und es können Resistdicken bis hin zu einigen 10 µm pro Belackungsschritt erreicht werden. Für größere Schichtdicken empfiehlt sich PMMA. (de)
- Novolaks (sometimes: novolacs) are low molecular weight polymers derived from phenols and formaldehyde. They are related to Bakelite, which is more highly crosslinked. The term comes from Swedish "lack" for lacquer and Latin "novo" for new, since these materials were envisioned to replace natural lacquers such as copal resin. Typically novolaks are prepared by the condensation of phenol or a mixture of p- and m-cresol with formaldehyde (as formalin). The reaction is acid catalyzed. Oxalic acid is often used because it can be subsequently removed by thermal decomposition. Novolaks have a degree of polymerization of approximately 20-40. The branching density, determined by the processing conditions, m- vs p-cresol ratio, as well as CH2O/cresol ratio is typically around 15%. Novolaks are especially important in microelectronics where they are used as photoresist materials. They are also used as tackifiers in rubber. (en)
- ノボラック(novolak)は反応物質の酸縮合によって得られるホルムアルデヒド-フェノール比が1:1より小さいフェノール樹脂である。ノボラックは熱可塑性樹脂であり、ホルムアルデヒドドナーであるヘキサメチレンテトラミンといった添加剤(架橋剤)によって硬化させることができる。これによって不溶融性のが得られる。 ジアゾナフトキノンといった光感受性物質と組み合わせることにより、フォトリソグラフィ工程で使用されるフォトレジストとしてマイクロエレクトロニクスやマイクロマシン分野で使用されている。露光されなかった部分のノボラックが表面に残り、次の工程(イオン注入、金属のガルバニック成長、熱酸化、エッチング等)から回路基板を保護する。 ノボラックは回路基板のスピンコートでも使用され、厚みは除去段階で数十μmまで薄くされる。より厚い層にはアクリル樹脂 (PMMA) が推奨される。 (ja)
- 노볼락(Novolak)은 페놀과 포름알데하이드에서 비롯된 저분자량 중합체이다. (ko)
- Новолачна смола (рос. новолачная смола, [новолак], англ. novolak resin) — термореактивна або термопластична фенолоальдегiдна смола, здебiльшого з молекулярною масою 500—900, яка є продуктом полiконденсацiї фенолiв або їхніх алкiльних чи фурильних похiдних з альдегiдами, що отверджуються гексаметилентетрамiном, полiепоксидами та iн. Особливе промислове значення мають феноло- та крезолоформальдегiднi смоли. Синонім — новолак. (uk)
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- ノボラック(novolak)は反応物質の酸縮合によって得られるホルムアルデヒド-フェノール比が1:1より小さいフェノール樹脂である。ノボラックは熱可塑性樹脂であり、ホルムアルデヒドドナーであるヘキサメチレンテトラミンといった添加剤(架橋剤)によって硬化させることができる。これによって不溶融性のが得られる。 ジアゾナフトキノンといった光感受性物質と組み合わせることにより、フォトリソグラフィ工程で使用されるフォトレジストとしてマイクロエレクトロニクスやマイクロマシン分野で使用されている。露光されなかった部分のノボラックが表面に残り、次の工程(イオン注入、金属のガルバニック成長、熱酸化、エッチング等)から回路基板を保護する。 ノボラックは回路基板のスピンコートでも使用され、厚みは除去段階で数十μmまで薄くされる。より厚い層にはアクリル樹脂 (PMMA) が推奨される。 (ja)
- 노볼락(Novolak)은 페놀과 포름알데하이드에서 비롯된 저분자량 중합체이다. (ko)
- Новолачна смола (рос. новолачная смола, [новолак], англ. novolak resin) — термореактивна або термопластична фенолоальдегiдна смола, здебiльшого з молекулярною масою 500—900, яка є продуктом полiконденсацiї фенолiв або їхніх алкiльних чи фурильних похiдних з альдегiдами, що отверджуються гексаметилентетрамiном, полiепоксидами та iн. Особливе промислове значення мають феноло- та крезолоформальдегiднi смоли. Синонім — новолак. (uk)
- Novolake (fälschlicherweise oft Novolacke) sind Phenolharze mit einem Formaldehyd-Phenol-Verhältnis kleiner als 1:1, die durch saure Kondensation der Edukte erhalten werden. Novolake sind thermoplastisch und können durch Zusätze von Formaldehydspendern wie z. B. Hexamethylentetramin gehärtet werden. Dies ergibt dann unschmelzbare Phenoplaste. Novolake werden in der Regel durch einen Spin Coater auf ein Substrat aufgeschleudert und es können Resistdicken bis hin zu einigen 10 µm pro Belackungsschritt erreicht werden. Für größere Schichtdicken empfiehlt sich PMMA. (de)
- Novolaks (sometimes: novolacs) are low molecular weight polymers derived from phenols and formaldehyde. They are related to Bakelite, which is more highly crosslinked. The term comes from Swedish "lack" for lacquer and Latin "novo" for new, since these materials were envisioned to replace natural lacquers such as copal resin. Novolaks are especially important in microelectronics where they are used as photoresist materials. They are also used as tackifiers in rubber. (en)
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- Novolak (de)
- 노볼락 (ko)
- Novolak (en)
- ノボラック (ja)
- Новолачна смола (uk)
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