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- Electrostatic–pneumatic activation is an actuation method for shaping thin membranes for microelectromechanical and microoptoelectromechanical systems. This method benefits from operation at high speed and low power consumption. It can also cause large deflection on thin membranes. Electrostatic-pneumatic MEMS devices usually consist of two membranes with a sealed cavity in between. One membrane calling actuator deflects into cavity by electrostatic pressure to compress air and increase air pressure. Elevated pressure pushes the other membrane and cause dome shape. With direct electrostatic actuation on membrane, a concave shape is achieved. This method is used in MEMS deformable mirrors to create convex and concave mirrors. Electrostatic-pneumatic actuation can double maximum displacement of a thin membrane compared to only electrostatic actuated membrane. Moreover, mechanical advantage is possible by use of electrostatic-pneumatic actuation. Since the cavity is filled with air, mechanical amplification is lower than hydraulic machinery with a non-compressible fluid. (en)
- La activación electrostática neumática es un método de actuación para la formación de membranas finas en dispositivos MEMS y MOEMS. Este método se beneficia de la operación a alta velocidad y bajo consumo de energía. también puede causar grandes deflexión en membranas finas. Electrostática-neumático de dispositivos MEMS suelen constar de dos membranas con una cavidad sellada en el medio. Una membrana llamada actuador se desvía en la cavidad por electrostática presión para comprimir el aire y aumentar la presión de aire. La elevación de la presión empuja el otro de la membrana y la causa de la forma de la bóveda. Con directa electrostática de actuación en la membrana, una forma cóncava que se logra. Este método se utiliza en MEMS espejos deformables para crear espejos convexos y cóncavos. accionamiento electrostático-neumático puede duplicar máximo desplazamiento de una membrana delgada en comparación con sólo membrana accionada electrostática. Además, la ventaja mecánica es posible por uso de electrostático-neumático actuation. Desde la cavidad está llenada con aire, la amplificación mecánica es más baja que maquinaria hidráulica con un fluido no compresible. (es)
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- Electrostatic–pneumatic activation is an actuation method for shaping thin membranes for microelectromechanical and microoptoelectromechanical systems. This method benefits from operation at high speed and low power consumption. It can also cause large deflection on thin membranes. Electrostatic-pneumatic MEMS devices usually consist of two membranes with a sealed cavity in between. One membrane calling actuator deflects into cavity by electrostatic pressure to compress air and increase air pressure. Elevated pressure pushes the other membrane and cause dome shape. With direct electrostatic actuation on membrane, a concave shape is achieved. (en)
- La activación electrostática neumática es un método de actuación para la formación de membranas finas en dispositivos MEMS y MOEMS. Este método se beneficia de la operación a alta velocidad y bajo consumo de energía. también puede causar grandes deflexión en membranas finas. Electrostática-neumático de dispositivos MEMS suelen constar de dos membranas con una cavidad sellada en el medio. Una membrana llamada actuador se desvía en la cavidad por electrostática presión para comprimir el aire y aumentar la presión de aire. La elevación de la presión empuja el otro de la membrana y la causa de la forma de la bóveda. Con directa electrostática de actuación en la membrana, una forma cóncava que se logra. (es)
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- Activación electrostática neumática (es)
- Electrostatic–pneumatic activation (en)
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