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  • Flächenwiderstand
  • Sheet resistance
  • シート抵抗
  • Resistività di superficie
  • Vierkantsweerstand
  • Resistência de folha
  • 薄膜电阻
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  • シート抵抗 (英語: sheet resistance, sheet resistivity) とは、一様の厚さを持つ薄い膜やフィルム状物質の電気抵抗を表す量のひとつ。表面抵抗率、面抵抗率とも呼ばれる。
  • 薄膜电阻(sheet resistance),又被称为方阻,具有均匀厚度薄膜电阻的量度。通常被用作评估半导体掺杂的结果。这种工艺的例子有:半导体的掺杂领域(比如硅或者多晶硅),以及被丝网印刷到基底上的电阻。薄膜电阻的概念与电阻或者电阻率相对,可直接用四端點測量技術测量法(也称为四点探针测量法)或范德堡法来测量。 薄膜电阻用欧姆每平方()来计量,可被应用于将薄膜考虑为一个二维实体的二维系统。它与三维系统下所用的电阻率的概念对等。当使用到薄膜电阻一词的时候,电流必须沿着薄膜平面流动,而非与其垂直。 对于常规三维导体,电阻可写为 其中代表电阻率,代表截面面积而代表长度。截面面积可被分解为宽度和薄膜厚度。 当把电阻率和厚度放到一起时,电阻可被记为 即为薄膜电阻。因为它被一个无量纲量所乘,所以单位依然是欧姆。而欧姆/平方这一单位被使用是因为它给出了以欧姆为单位的从一个平方区域流向相对平方区域的电阻,无论平方区域的大小如何。对于正方情形,。因此,对任意平方大小,有。
  • La resistività di superficie, o resistività superficiale, è una grandezza che caratterizza le proprietà di conduzione elettrica, in particolare per campioni bidimensionali o quasibidimensionali, che hanno cioè lo spessore H molto minore della larghezza W e della lunghezza L. Esempi di questi sistemi sono i wafer di semiconduttori, e in generale i film sottili. Questa grandezza è data da dove è la resistività.Nell'ultimo passaggio è stata usata la seconda legge di Ohm . L'unità di misura della resistività superficiale, nel Sistema Internazionale, è l'ohm (Ω).
  • De vierkantsweerstand is een maat voor de karakteristieke elektrische weerstand van een dunne, homogene geleidende laag met constante dikte. Hij wordt veel gebruikt voor het karakteriseren van opgedampte of gezeefdrukte dunne metaal- en halfgeleiderlagen in elektronische toepassingen, zoals geïntegreerde schakelingen.
  • Resistência de folha é uma medida de resistência usada para caracterizar finas camadas de semicondutores dopados, normalmente uniformes em toda sua espessura. Resistividade é uma função direta da geometria da amostras, e portanto é conveniente trabalhar com este parâmetro resistência de folha , expressa em unidades de ohms por quadrado. A resistência de folha, em oposição à resistência, nos fornece a resistividade de filmes finos formados por camadas difusas, ou formada por filmes epitaxiais em semicondutores, ou então de camadas policristalinas e de condutores metálicos.
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  • シート抵抗 (英語: sheet resistance, sheet resistivity) とは、一様の厚さを持つ薄い膜やフィルム状物質の電気抵抗を表す量のひとつ。表面抵抗率、面抵抗率とも呼ばれる。
  • La resistività di superficie, o resistività superficiale, è una grandezza che caratterizza le proprietà di conduzione elettrica, in particolare per campioni bidimensionali o quasibidimensionali, che hanno cioè lo spessore H molto minore della larghezza W e della lunghezza L. Esempi di questi sistemi sono i wafer di semiconduttori, e in generale i film sottili. Questa grandezza è data da dove è la resistività.Nell'ultimo passaggio è stata usata la seconda legge di Ohm . L'unità di misura della resistività superficiale, nel Sistema Internazionale, è l'ohm (Ω). Oltre agli ohm, si usano spesso come unità gli "ohm per quadrato" (indicati con "Ω/sq" (square) o " Ω/◻"), dimensionalmente uguale agli ohm, ma usati solo per la resistenza di superificie, per evitare fraintendimenti. In queste unità, il numero di quadrati di materiale è dato dal rapporto L/W. Ad esempio, un pezzo di materiale con resistenza di superficie Rs, lungo 3 mm e largo 1 mm, ovvero 3 quadrati, avrà resistenza 3Rs. La resistività superficiale si misura direttamente con la misura a quattro terminali o il metodo di van der Pauw.
  • De vierkantsweerstand is een maat voor de karakteristieke elektrische weerstand van een dunne, homogene geleidende laag met constante dikte. Hij wordt veel gebruikt voor het karakteriseren van opgedampte of gezeefdrukte dunne metaal- en halfgeleiderlagen in elektronische toepassingen, zoals geïntegreerde schakelingen. Dunne homogene geleidende lagen van constante dikte kunnen als tweedimensionaal worden beschouwd. Bij het elektrisch gedrag ervan speelt de vierkantsweerstand een rol die vergelijkbaar is met die van de soortelijke weerstand in driedimensionale situaties. Daarbij gaat men ervan uit dat de stroom alleen in het vlak van de laag stroomt, en niet loodrecht daarop.
  • Resistência de folha é uma medida de resistência usada para caracterizar finas camadas de semicondutores dopados, normalmente uniformes em toda sua espessura. Resistividade é uma função direta da geometria da amostras, e portanto é conveniente trabalhar com este parâmetro resistência de folha , expressa em unidades de ohms por quadrado. A resistência de folha, em oposição à resistência, nos fornece a resistividade de filmes finos formados por camadas difusas, ou formada por filmes epitaxiais em semicondutores, ou então de camadas policristalinas e de condutores metálicos. Medidas de resistência de folha são invariantes frente a diminuição da escala de tamanho dos filmes, e portanto pode ser utilizada para comparar propriedades elétricas de dispositivos que são significativamente diferentes em tamanho. Medidas de resistência de folha são muito comuns para caracterizar a uniformidade de recobrimentos condutores ou semicondutores, além de garantia de qualidade de materiais, por exemplo. O desenvolvimento e o rápido crescimento da em comparação a microeletrônica tem sido acelerado pelos avanços nas técnicas de crescimento de semicondutores. Filmes epitaxiais que são utilizados em dispositivos ópticos e eletrônicos não podem ser caracterizados pela utilização das mesmas técnicas utilizadas para a caracterização dos substratos semicondutores. Assim, foi necessário refinar e desenvolver novos aparatos para que a caracterização elétrica das amostras pudesse ser determinada.
  • 薄膜电阻(sheet resistance),又被称为方阻,具有均匀厚度薄膜电阻的量度。通常被用作评估半导体掺杂的结果。这种工艺的例子有:半导体的掺杂领域(比如硅或者多晶硅),以及被丝网印刷到基底上的电阻。薄膜电阻的概念与电阻或者电阻率相对,可直接用四端點測量技術测量法(也称为四点探针测量法)或范德堡法来测量。 薄膜电阻用欧姆每平方()来计量,可被应用于将薄膜考虑为一个二维实体的二维系统。它与三维系统下所用的电阻率的概念对等。当使用到薄膜电阻一词的时候,电流必须沿着薄膜平面流动,而非与其垂直。 对于常规三维导体,电阻可写为 其中代表电阻率,代表截面面积而代表长度。截面面积可被分解为宽度和薄膜厚度。 当把电阻率和厚度放到一起时,电阻可被记为 即为薄膜电阻。因为它被一个无量纲量所乘,所以单位依然是欧姆。而欧姆/平方这一单位被使用是因为它给出了以欧姆为单位的从一个平方区域流向相对平方区域的电阻,无论平方区域的大小如何。对于正方情形,。因此,对任意平方大小,有。
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