. . "La spectrom\u00E9trie photo\u00E9lectronique X, ou spectrom\u00E9trie de photo\u00E9lectrons induits par rayons X (en anglais, X-Ray photoelectron spectrometry : XPS) est une m\u00E9thode de spectrom\u00E9trie photo\u00E9lectronique qui implique la mesure des spectres de photo\u00E9lectrons induits par des photons de rayon X. Dans une exp\u00E9rience XPS, l'\u00E9chantillon est bombard\u00E9 par des rayons X d'une certaine longueur d'onde, ce qui \u00E9met un photo\u00E9lectron qui est par la suite d\u00E9tect\u00E9. Les photo\u00E9lectrons ont des \u00E9nergies propres \u00E0 chaque \u00E9l\u00E9ment, ce qui permet de d\u00E9terminer la composition de l'\u00E9chantillon. Pour une analyse qualitative, l'\u00E9l\u00E9ment doit avoir une concentration plus \u00E9lev\u00E9e que 0,1 %, tandis qu'une analyse quantitative peut \u00EAtre effectu\u00E9e si 5 % de l'\u00E9l\u00E9ment est pr\u00E9sent. Elle a \u00E9t\u00E9 mise au point \u00E0 l'universit\u00E9 d'Uppsala (Su\u00E8de) dans les ann\u00E9es 1960, sous la direction de Kai Siegbahn, ce qui lui a valu le prix Nobel en 1981. La m\u00E9thode \u00E9tait anciennement nomm\u00E9e ESCA (electron spectroscopy for chemical analysis : spectroscopie d'\u00E9lectron pour l'analyse chimique)."@fr . . . . . . . . "\u0420\u0435\u043D\u0442\u0433\u0435\u043D\u0456\u0432\u0441\u044C\u043A\u0430 \u0444\u043E\u0442\u043E\u0435\u043B\u0435\u043A\u0442\u0440\u043E\u043D\u043D\u0430 \u0441\u043F\u0435\u043A\u0442\u0440\u043E\u0441\u043A\u043E\u043F\u0456\u044F"@uk . . . . . . . . . . . . . . . . . . . "X\u7DDA\u5149\u96FB\u5B50\u5206\u5149"@ja . . . "X\u5C04\u7EBF\u5149\u7535\u5B50\u80FD\u8C31\u5B66\uFF08\u82F1\u6587\uFF1AX-ray photoelectron spectroscopy\uFF0C\u7B80\u79F0XPS\uFF09\u662F\u4E00\u79CD\u7528\u65BC\u6D4B\u5B9A\u6750\u6599\u4E2D\u5143\u7D20\u6784\u6210\u3001\u5B9E\u9A8C\u5F0F\uFF0C\u4EE5\u53CA\u5176\u4E2D\u6240\u542B\u5143\u7D20\u548C\u7684\u5B9A\u91CF\u6280\u672F\u3002\u8FD9\u79CD\u6280\u672F\u7528X\u5C04\u7EBF\u7167\u5C04\u6240\u8981\u5206\u6790\u7684\u6750\u6599\uFF0C\u540C\u65F6\u6D4B\u91CF\u4ECE\u6750\u6599\u8868\u9762\u4EE5\u4E0B1\u7EB3\u7C73\u523010\u7EB3\u7C73\u8303\u56F4\u5185\u9038\u51FA\u7535\u5B50\u7684\u52A8\u80FD\u548C\u6570\u91CF\uFF0C\u4ECE\u800C\u5F97\u5230X\u5C04\u7EBF\u5149\u7535\u5B50\u80FD\u8C31\u3002X\u5C04\u7EBF\u5149\u7535\u5B50\u80FD\u8C31\u6280\u672F\u9700\u8981\u5728\u8D85\u9AD8\u771F\u7A7A\u73AF\u5883\u4E0B\u8FDB\u884C\u3002\u5728\u51E0\u5341\u4E2A\u6BEB\u5DF4\u6C14\u538B\u4E0B\u5206\u6790\u6837\u54C1\u7684\u5E38\u538BXPS\u6280\u672F\u4E5F\u6709\u6240\u53D1\u5C55\u3002 XPS\u662F\u4E00\u79CD\u8868\u9762\u5316\u5B66\u5206\u6790\u6280\u672F\uFF0C\u53EF\u4EE5\u7528\u6765\u5206\u6790\u91D1\u5C5E\u6750\u6599\u5728\u7279\u5B9A\u72B6\u6001\u4E0B\u6216\u5728\u4E00\u4E9B\u52A0\u5DE5\u5904\u7406\u540E\u7684\u8868\u9762\u5316\u5B66\u3002\u8FD9\u4E9B\u52A0\u5DE5\u5904\u7406\u65B9\u6CD5\u5305\u62EC\u7A7A\u6C14\u6216\u8D85\u9AD8\u771F\u7A7A\u4E2D\u7684\u538B\u88C2\u3001\u5207\u5272\u3001\u522E\u524A\uFF0C\u7528\u65BC\u6E05\u9664\u67D0\u4E9B\u8868\u9762\u6C61\u67D3\u7684\uFF0C\u4E3A\u7814\u7A76\u53D7\u70ED\u65F6\u7684\u53D8\u5316\u800C\u7F6E\u4E8E\u52A0\u70ED\u73AF\u5883\uFF0C\u7F6E\u4E8E\u53EF\u53CD\u5E94\u7684\u6C14\u4F53\u6216\u6EB6\u5242\u73AF\u5883\uFF0C\u7F6E\u4E8E\u79BB\u5B50\u6CE8\u5165\u73AF\u5883\uFF0C\u4EE5\u53CA\u7F6E\u4E8E\u7D2B\u5916\u7EBF\u7167\u5C04\u73AF\u5883\u7B49\u3002 XPS\u53EF\u4EE5\u7528\u6765\u6D4B\u91CF\uFF1A \n* \u8868\u9762\u7684\u5143\u7D20\u6784\u6210\uFF08\u901A\u5E38\u8303\u56F4\u4E3A1\u7EB3\u7C73\u523010\u7EB3\u7C73\uFF09 \n* \u7EAF\u51C0\u6750\u6599\u7684\u5B9E\u9A8C\u5F0F \n* \u4E0D\u7EAF\u51C0\u8868\u9762\u7684\u6742\u8D28\u7684\u5143\u7D20\u6784\u6210 \n* \u8868\u9762\u6BCF\u4E00\u79CD\u5143\u7D20\u7684\u5316\u5B66\u6001\u548C\u7535\u5B50\u6001 \n* \u8868\u9762\u5143\u7D20\u6784\u6210\u7684\u5747\u5300\u6027 \u7531\u4E8E\u5BF9\u7279\u5B9A\u6CE2\u957F\u7684X\u5C04\u7EBF\uFF0C\u5176\u80FD\u91CF\u662F\u5DF2\u77E5\u7684\uFF0C\u5BF9\u4E8E\u6BCF\u4E00\u4E2A\u51FA\u5C04\u7535\u5B50\u6240\u5177\u6709\u7684\u7535\u5B50\u7ED3\u5408\u80FD\u53EF\u4EE5\u7531\u4E0B\u9762\u516C\u5F0F\u6C42\u51FA\uFF1A \u5176\u4E2D\u662F\u7535\u5B50\u7ED3\u5408\u80FD\uFF0C\u662F\u6240\u7528\u7684X\u5C04\u7EBF\u7684\u5149\u5B50\u7684\u80FD\u91CF\uFF0C\u662F\u88AB\u6D4B\u91CF\u5230\u7684\u7535\u5B50\u7684\u52A8\u80FD\uFF0C\u662F\uFF08\u800C\u4E0D\u662F\u6750\u6599\uFF09\u7684\u529F\u51FD\u6570\uFF0C\u4E0E\u6750\u6599\u8868\u9762\u76F8\u5173\u3002\u8FD9\u4E00\u516C\u5F0F\u662F\u57FA\u4E8E\u6B27\u5185\u65AF\u7279\u00B7\u5362\u745F\u798F\u57281914\u5E74\u7684\u5DE5\u4F5C\u5F97\u6765\u7684\u3002"@zh . . . . . . . . "La espectrometr\u00EDa fotoelectr\u00F3nica X o espectrometr\u00EDa de fotoelectrones inducidos por rayos X (en ingl\u00E9s, X-Ray photoelectron spectrometry, o XPS) es un m\u00E9todo de espectrometr\u00EDa fotoelectr\u00F3nica que implica la medici\u00F3n de los espectros de los fotoelectrones inducidos por fotones de rayos X. Es una espectroscopia semi-cuantitativa y de baja resoluci\u00F3n espacial que habitualmente se utiliza para estimar la estequiometr\u00EDa (con un error del 10% aproximadamente), y la estructura electr\u00F3nica de los elementos que existen en un material. Los espectros XPS son obtenidos cuando una muestra es irradiada por rayos X (habitualmente el \u00E1nodo puede ser de Al o Mg) al tiempo que se mide la energ\u00EDa cin\u00E9tica y el n\u00FAmero de electrones que escapan de la superficie del material analizado. Para una medici\u00F3n de XPS se requieren condiciones de ultra-alto vac\u00EDo debido a que a presiones mayores la tasa de adsorci\u00F3n de contaminaci\u00F3n sobre la muestra puede ser del orden de varias monocapas at\u00F3micas por segundo, impidiendo la medici\u00F3n de la superficie que realmente se quiere analizar. Fue desarrollada en la Universidad de Upsala (Suecia) en la d\u00E9cada de 1960, bajo la direcci\u00F3n de Kai Siegbahn, lo que le vali\u00F3 el premio Nobel en 1981. El m\u00E9todo anteriormente se llamaba espectroscopia electr\u00F3nica para an\u00E1lisis qu\u00EDmico o ESCA (en ingl\u00E9s, electron spectroscopy for chemical analysis)."@es . "espectrosc\u00F2pia de fotoelectrons emesos per Raigs X (XPS) \u00E9s una Espectrosc\u00F2pia semi-quantitativa i de baixa resoluci\u00F3 espacial que habitualment s'utilitza per estimar l'estequiometria (amb un error del 10% aproximadament), estat qu\u00EDmic i l'estructura electr\u00F2nica dels elements que hi ha en un material. Els espectres XPS s\u00F3n obtinguts quan una mostra \u00E9s irradiada per raigs X (habitualment l'\u00E0node potser d'Al o Mg) mentre es mesura l'energia cin\u00E8tica i el nombre d'electrons que escapen de la superf\u00EDcie del material analitzat."@ca . . . . . . . . . . . . . . . . "La spettroscopia fotoelettronica a raggi X, comunemente indicata con XPS o XPES (dall'inglese X-ray photoelectron spectroscopy), \u00E8 una tecnica di spettroscopia fotoelettronica, per la precisione una spettroscopia ESCA, utilizzata per sondare le superfici dei materiali. Essa consente infatti di conoscere gli elementi chimici che compongono la superficie di un materiale e di determinarne talvolta lo stato di legame."@it . . "Spectrom\u00E9trie photo\u00E9lectronique X"@fr . "\u0420\u0435\u043D\u0442\u0433\u0435\u043D\u043E\u0432\u0441\u043A\u0430\u044F \u0444\u043E\u0442\u043E\u044D\u043B\u0435\u043A\u0442\u0440\u043E\u043D\u043D\u0430\u044F \u0441\u043F\u0435\u043A\u0442\u0440\u043E\u0441\u043A\u043E\u043F\u0438\u044F (\u0420\u0424\u042D\u0421) \u2014 \u043F\u043E\u043B\u0443\u043A\u043E\u043B\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043D\u043D\u044B\u0439 \u0441\u043F\u0435\u043A\u0442\u0440\u043E\u0441\u043A\u043E\u043F\u0438\u0447\u0435\u0441\u043A\u0438\u0439 \u043C\u0435\u0442\u043E\u0434 \u0438\u0441\u0441\u043B\u0435\u0434\u043E\u0432\u0430\u043D\u0438\u044F \u044D\u043B\u0435\u043C\u0435\u043D\u0442\u043D\u043E\u0433\u043E \u0441\u043E\u0441\u0442\u0430\u0432\u0430, \u0445\u0438\u043C\u0438\u0447\u0435\u0441\u043A\u043E\u0433\u043E \u0438 \u044D\u043B\u0435\u043A\u0442\u0440\u043E\u043D\u043D\u043E\u0433\u043E \u0441\u043E\u0441\u0442\u043E\u044F\u043D\u0438\u044F \u0430\u0442\u043E\u043C\u043E\u0432, \u043D\u0430 \u043F\u043E\u0432\u0435\u0440\u0445\u043D\u043E\u0441\u0442\u0438 \u0438\u0437\u0443\u0447\u0430\u0435\u043C\u043E\u0433\u043E \u043C\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043B\u0430. \u041E\u043D \u043E\u0441\u043D\u043E\u0432\u0430\u043D \u043D\u0430 \u044F\u0432\u043B\u0435\u043D\u0438\u0438 \u0432\u043D\u0435\u0448\u043D\u0435\u0433\u043E \u0444\u043E\u0442\u043E\u044D\u0444\u0444\u0435\u043A\u0442\u0430. \u0421\u043F\u0435\u043A\u0442\u0440\u044B \u0420\u0424\u042D\u0421 \u043F\u043E\u043B\u0443\u0447\u0430\u044E\u0442 \u043E\u0431\u043B\u0443\u0447\u0435\u043D\u0438\u0435\u043C \u043C\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043B\u0430 \u043F\u0443\u0447\u043A\u043E\u043C \u0440\u0435\u043D\u0442\u0433\u0435\u043D\u043E\u0432\u0441\u043A\u0438\u0445 \u043B\u0443\u0447\u0435\u0439 \u0441 \u0440\u0435\u0433\u0438\u0441\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u0435\u0439 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043C\u043E\u0441\u0442\u0438 \u043A\u043E\u043B\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0438\u0441\u043F\u0443\u0441\u043A\u0430\u0435\u043C\u044B\u0445 \u044D\u043B\u0435\u043A\u0442\u0440\u043E\u043D\u043E\u0432 \u043E\u0442 \u0438\u0445 \u044D\u043D\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438 \u0441\u0432\u044F\u0437\u0438. \u0418\u0441\u0441\u043B\u0435\u0434\u0443\u0435\u043C\u044B\u0435 \u044D\u043B\u0435\u043A\u0442\u0440\u043E\u043D\u044B \u044D\u043C\u0438\u0442\u0442\u0438\u0440\u0443\u044E\u0442\u0441\u044F \u043F\u043E \u0432\u0441\u0435\u0439 \u0433\u043B\u0443\u0431\u0438\u043D\u0435 \u043F\u0440\u043E\u043D\u0438\u043A\u043D\u043E\u0432\u0435\u043D\u0438\u044F \u0438\u0441\u043F\u043E\u043B\u044C\u0437\u0443\u0435\u043C\u043E\u0433\u043E \u043C\u044F\u0433\u043A\u043E\u0433\u043E \u0440\u0435\u043D\u0442\u0433\u0435\u043D\u043E\u0432\u0441\u043A\u043E\u0433\u043E \u0438\u0437\u043B\u0443\u0447\u0435\u043D\u0438\u044F \u0432 \u0438\u0441\u0441\u043B\u0435\u0434\u0443\u0435\u043C\u044B\u0439 \u043E\u0431\u0440\u0430\u0437\u0435\u0446 (\u043E\u0431\u044B\u0447\u043D\u043E \u043F\u043E\u0440\u044F\u0434\u043A\u0430 1 \u043C\u043A\u043C, \u0447\u0442\u043E \u043E\u0447\u0435\u043D\u044C \u043C\u043D\u043E\u0433\u043E \u043F\u043E \u0441\u0440\u0430\u0432\u043D\u0435\u043D\u0438\u044E \u0441 \u0440\u0430\u0437\u043C\u0435\u0440\u0430\u043C\u0438 \u0430\u0442\u043E\u043C\u043E\u0432 \u0438 \u043C\u043E\u043B\u0435\u043A\u0443\u043B). \u041E\u0434\u043D\u0430\u043A\u043E, \u0432\u044B\u0431\u0438\u0442\u044B\u0435 \u0440\u0435\u043D\u0442\u0433\u0435\u043D\u043E\u0432\u0441\u043A\u0438\u043C\u0438 \u043A\u0432\u0430\u043D\u0442\u0430\u043C\u0438 \u044D\u043B\u0435\u043A\u0442\u0440\u043E\u043D\u044B \u0441\u0438\u043B\u044C\u043D\u043E \u043F\u043E\u0433\u043B\u043E\u0449\u0430\u044E\u0442\u0441\u044F \u0438\u0441\u0441\u043B\u0435\u0434\u0443\u0435\u043C\u044B\u043C \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043E\u043C \u043D\u0430\u0441\u0442\u043E\u043B\u044C\u043A\u043E, \u0447\u0442\u043E \u044D\u043C\u0438\u0442\u0442\u0438\u0440\u043E\u0432\u0430\u043D\u043D\u044B\u0435 \u043D\u0430 \u0433\u043B\u0443\u0431\u0438\u043D\u0435 \u043E\u043A\u043E\u043B\u043E 100 \u00C5 \u043E\u043D\u0438 \u0443\u0436\u0435 \u043D\u0435 \u043C\u043E\u0433\u0443\u0442 \u0434\u043E\u0441\u0442\u0438\u0447\u044C \u043F\u043E\u0432\u0435\u0440\u0445\u043D\u043E\u0441\u0442\u0438, \u0438\u0441\u043F\u0443\u0441\u0442\u0438\u0442\u044C\u0441\u044F \u0432 \u0432\u0430\u043A\u0443\u0443\u043C \u0438, \u0441\u043E\u043E\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0435\u043D\u043D\u043E, \u0431\u044B\u0442\u044C \u0434\u0435\u0442\u0435\u043A\u0442\u0438\u0440\u043E\u0432\u0430\u043D\u043D\u044B\u043C\u0438 \u043F\u0440\u0438\u0431\u043E\u0440\u043E\u043C. \u0418\u043C\u0435\u043D\u043D\u043E \u043F\u043E\u044D\u0442\u043E\u043C\u0443 \u043C\u0435\u0442\u043E\u0434\u043E\u043C \u0420\u0424\u042D\u0421 \u043C\u043E\u0436\u043D\u043E \u0441\u043E\u0431\u0440\u0430\u0442\u044C \u0438\u043D\u0444\u043E\u0440\u043C\u0430\u0446\u0438\u044E \u043E \u0441\u0430\u043C\u044B\u0445 \u0432\u0435\u0440\u0445\u043D\u0438\u0445 (\u043E\u043A\u043E\u043B\u043E 10-30) \u0430\u0442\u043E\u043C\u043D\u044B\u0445 \u0441\u043B\u043E\u044F\u0445 \u043E\u0431\u0440\u0430\u0437\u0446\u0430 \u0431\u0435\u0437 \u0438\u043D\u0444\u043E\u0440\u043C\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043E\u0431 \u0435\u0433\u043E \u043E\u0431\u044A\u0435\u043C\u0435. \u041F\u043E\u044D\u0442\u043E\u043C\u0443 \u0420\u0424\u042D\u0421 \u043D\u0435\u0437\u0430\u043C\u0435\u043D\u0438\u043C, \u043A\u0430\u043A \u043C\u0435\u0442\u043E\u0434 \u0430\u043D\u0430\u043B\u0438\u0437\u0430 \u0438 \u043A\u043E\u043D\u0442\u0440\u043E\u043B\u044F \u0432 \u0440\u044F\u0434\u0435 \u043E\u0442\u0440\u0430\u0441\u043B\u0435\u0439 \u0442\u0430\u043A\u0438\u0445, \u043A\u0430\u043A \u043F\u043E\u043B\u0443\u043F\u0440\u043E\u0432\u043E\u0434\u043D\u0438\u043A\u043E\u0432\u0430\u044F \u0438\u043D\u0434\u0443\u0441\u0442\u0440\u0438\u044F, \u0433\u0435\u0442\u0435\u0440\u043E\u0433\u0435\u043D\u043D\u044B\u0439 \u043A\u0430\u0442\u0430\u043B\u0438\u0437 \u0438 \u0442.\u0434. \u0420\u0424\u042D\u0421 \u2014 \u043C\u0435\u0442\u043E\u0434 \u0430\u043D\u0430\u043B\u0438\u0437\u0430 \u043F\u043E\u0432\u0435\u0440\u0445\u043D\u043E\u0441\u0442\u0438, \u043A\u043E\u0442\u043E\u0440\u044B\u0439 \u043C\u043E\u0436\u0435\u0442 \u0431\u044B\u0442\u044C \u0438\u0441\u043F\u043E\u043B\u044C\u0437\u043E\u0432\u0430\u043D \u0434\u043B\u044F \u0430\u043D\u0430\u043B\u0438\u0437\u0430 \u0445\u0438\u043C\u0438\u0447\u0435\u0441\u043A\u043E\u0433\u043E \u0441\u043E\u0441\u0442\u043E\u044F\u043D\u0438\u044F \u043C\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043B\u0430 \u043A\u0430\u043A \u0432 \u0435\u0433\u043E \u043F\u0435\u0440\u0432\u043E\u043D\u0430\u0447\u0430\u043B\u044C\u043D\u043E\u043C \u0441\u043E\u0441\u0442\u043E\u044F\u043D\u0438\u0438, \u0442\u0430\u043A \u0438 \u043F\u043E\u0441\u043B\u0435 \u043D\u0435\u043A\u043E\u0442\u043E\u0440\u043E\u0439 \u043E\u0431\u0440\u0430\u0431\u043E\u0442\u043A\u0438, \u043D\u0430\u043F\u0440\u0438\u043C\u0435\u0440 \u0441\u043A\u043E\u043B\u0430, \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0437\u0430 \u0438\u043B\u0438 \u043E\u0447\u0438\u0441\u0442\u043A\u0438 \u0432 \u0432\u043E\u0437\u0434\u0443\u0445\u0435 \u0438\u043B\u0438 \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0432\u044B\u0441\u043E\u043A\u043E\u043C \u0432\u0430\u043A\u0443\u0443\u043C\u0435 \u0434\u043B\u044F \u0438\u0441\u0441\u043B\u0435\u0434\u043E\u0432\u0430\u043D\u0438\u044F \u0432\u043D\u0443\u0442\u0440\u0435\u043D\u043D\u0435\u0433\u043E \u0445\u0438\u043C\u0438\u0447\u0435\u0441\u043A\u043E\u0433\u043E \u0441\u043E\u0441\u0442\u0430\u0432\u0430 \u043E\u0431\u0440\u0430\u0437\u0446\u0430, \u043E\u0431\u043B\u0443\u0447\u0435\u043D\u0438\u044F \u0432\u044B\u0441\u043E\u043A\u043E\u044D\u043D\u0435\u0440\u0433\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043A\u0438\u043C \u043F\u0443\u0447\u043A\u043E\u043C \u0438\u043E\u043D\u043E\u0432 \u0434\u043B\u044F \u043E\u0447\u0438\u0441\u0442\u043A\u0438 \u043F\u043E\u0432\u0435\u0440\u0445\u043D\u043E\u0441\u0442\u0438 \u043E\u0442 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044F\u0437\u043D\u0435\u043D\u0438\u0439, \u043D\u0430\u0433\u0440\u0435\u0432\u0430 \u043E\u0431\u0440\u0430\u0437\u0446\u0430, \u0447\u0442\u043E\u0431\u044B \u0438\u0437\u0443\u0447\u0438\u0442\u044C \u0438\u0437\u043C\u0435\u043D\u0435\u043D\u0438\u044F \u0432\u0441\u043B\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u043D\u0430\u0433\u0440\u0435\u0432\u0430\u043D\u0438\u044F, \u043F\u043E\u043C\u0435\u0449\u0435\u043D\u0438\u044F \u0432 \u0430\u0442\u043C\u043E\u0441\u0444\u0435\u0440\u0443 \u0440\u0435\u0430\u043A\u0442\u0438\u0432\u043D\u043E\u0433\u043E \u0433\u0430\u0437\u0430 \u0438\u043B\u0438 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043E\u0440\u0430, \u043E\u0431\u043B\u0443\u0447\u0435\u043D\u0438\u044F \u0438\u043E\u043D\u0430\u043C\u0438 \u0441 \u0446\u0435\u043B\u044C\u044E \u0438\u0445 \u0432\u043D\u0435\u0434\u0440\u0435\u043D\u0438\u044F, \u043E\u0431\u043B\u0443\u0447\u0435\u043D\u0438\u044F \u0443\u043B\u044C\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043E\u043B\u0435\u0442\u043E\u0432\u044B\u043C \u0441\u0432\u0435\u0442\u043E\u043C. \u041F\u043E\u0441\u043A\u043E\u043B\u044C\u043A\u0443 \u0434\u043B\u044F \u0432\u043E\u0437\u0431\u0443\u0436\u0434\u0435\u043D\u0438\u044F \u0444\u043E\u0442\u043E\u044D\u043C\u0438\u0441\u0441\u0438\u0438 \u0438\u0441\u043F\u043E\u043B\u044C\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044F \u0438\u0437\u043B\u0443\u0447\u0435\u043D\u0438\u0435 \u0441 \u0438\u0437\u0432\u0435\u0441\u0442\u043D\u043E\u0439 \u0434\u043B\u0438\u043D\u043E\u0439 \u0432\u043E\u043B\u043D\u044B, \u044D\u043D\u0435\u0440\u0433\u0438\u044F \u0441\u0432\u044F\u0437\u0438 \u0438\u0441\u043F\u0443\u0441\u043A\u0430\u0435\u043C\u044B\u0445 \u044D\u043B\u0435\u043A\u0442\u0440\u043E\u043D\u043E\u0432 \u043C\u043E\u0436\u0435\u0442 \u0431\u044B\u0442\u044C \u043D\u0430\u0439\u0434\u0435\u043D\u0430 \u043F\u043E \u0443\u0440\u0430\u0432\u043D\u0435\u043D\u0438\u044E, \u0441\u043B\u0435\u0434\u0443\u044E\u0449\u0435\u043C\u0443 \u0438\u0437 \u0437\u0430\u043A\u043E\u043D\u0430 \u0441\u043E\u0445\u0440\u0430\u043D\u0435\u043D\u0438\u044F \u044D\u043D\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438: , \u0433\u0434\u0435 \u2014 \u044D\u043D\u0435\u0440\u0433\u0438\u044F \u0441\u0432\u044F\u0437\u0438 \u044D\u043B\u0435\u043A\u0442\u0440\u043E\u043D\u0430, \u2014 \u044D\u043D\u0435\u0440\u0433\u0438\u044F \u0432\u043E\u0437\u0431\u0443\u0436\u0434\u0430\u044E\u0449\u0435\u0433\u043E \u0444\u043E\u0442\u043E\u043D\u0430, \u2014 \u0444\u0438\u043A\u0441\u0438\u0440\u0443\u0435\u043C\u0430\u044F \u0432 \u044D\u043A\u0441\u043F\u0435\u0440\u0438\u043C\u0435\u043D\u0442\u0435 \u043A\u0438\u043D\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043A\u0430\u044F \u044D\u043D\u0435\u0440\u0433\u0438\u044F \u044D\u043B\u0435\u043A\u0442\u0440\u043E\u043D\u0430, \u03C6 \u2014 \u0440\u0430\u0431\u043E\u0442\u0430 \u0432\u044B\u0445\u043E\u0434\u0430 \u0441\u043F\u0435\u043A\u0442\u0440\u043E\u043C\u0435\u0442\u0440\u0430."@ru . . . . . . "\u0420\u0435\u043D\u0442\u0433\u0435\u043D\u043E\u0432\u0441\u043A\u0430\u044F \u0444\u043E\u0442\u043E\u044D\u043B\u0435\u043A\u0442\u0440\u043E\u043D\u043D\u0430\u044F \u0441\u043F\u0435\u043A\u0442\u0440\u043E\u0441\u043A\u043E\u043F\u0438\u044F"@ru . "X\u5C04\u7EBF\u5149\u7535\u5B50\u80FD\u8C31\u5B66\uFF08\u82F1\u6587\uFF1AX-ray photoelectron spectroscopy\uFF0C\u7B80\u79F0XPS\uFF09\u662F\u4E00\u79CD\u7528\u65BC\u6D4B\u5B9A\u6750\u6599\u4E2D\u5143\u7D20\u6784\u6210\u3001\u5B9E\u9A8C\u5F0F\uFF0C\u4EE5\u53CA\u5176\u4E2D\u6240\u542B\u5143\u7D20\u548C\u7684\u5B9A\u91CF\u6280\u672F\u3002\u8FD9\u79CD\u6280\u672F\u7528X\u5C04\u7EBF\u7167\u5C04\u6240\u8981\u5206\u6790\u7684\u6750\u6599\uFF0C\u540C\u65F6\u6D4B\u91CF\u4ECE\u6750\u6599\u8868\u9762\u4EE5\u4E0B1\u7EB3\u7C73\u523010\u7EB3\u7C73\u8303\u56F4\u5185\u9038\u51FA\u7535\u5B50\u7684\u52A8\u80FD\u548C\u6570\u91CF\uFF0C\u4ECE\u800C\u5F97\u5230X\u5C04\u7EBF\u5149\u7535\u5B50\u80FD\u8C31\u3002X\u5C04\u7EBF\u5149\u7535\u5B50\u80FD\u8C31\u6280\u672F\u9700\u8981\u5728\u8D85\u9AD8\u771F\u7A7A\u73AF\u5883\u4E0B\u8FDB\u884C\u3002\u5728\u51E0\u5341\u4E2A\u6BEB\u5DF4\u6C14\u538B\u4E0B\u5206\u6790\u6837\u54C1\u7684\u5E38\u538BXPS\u6280\u672F\u4E5F\u6709\u6240\u53D1\u5C55\u3002 XPS\u662F\u4E00\u79CD\u8868\u9762\u5316\u5B66\u5206\u6790\u6280\u672F\uFF0C\u53EF\u4EE5\u7528\u6765\u5206\u6790\u91D1\u5C5E\u6750\u6599\u5728\u7279\u5B9A\u72B6\u6001\u4E0B\u6216\u5728\u4E00\u4E9B\u52A0\u5DE5\u5904\u7406\u540E\u7684\u8868\u9762\u5316\u5B66\u3002\u8FD9\u4E9B\u52A0\u5DE5\u5904\u7406\u65B9\u6CD5\u5305\u62EC\u7A7A\u6C14\u6216\u8D85\u9AD8\u771F\u7A7A\u4E2D\u7684\u538B\u88C2\u3001\u5207\u5272\u3001\u522E\u524A\uFF0C\u7528\u65BC\u6E05\u9664\u67D0\u4E9B\u8868\u9762\u6C61\u67D3\u7684\uFF0C\u4E3A\u7814\u7A76\u53D7\u70ED\u65F6\u7684\u53D8\u5316\u800C\u7F6E\u4E8E\u52A0\u70ED\u73AF\u5883\uFF0C\u7F6E\u4E8E\u53EF\u53CD\u5E94\u7684\u6C14\u4F53\u6216\u6EB6\u5242\u73AF\u5883\uFF0C\u7F6E\u4E8E\u79BB\u5B50\u6CE8\u5165\u73AF\u5883\uFF0C\u4EE5\u53CA\u7F6E\u4E8E\u7D2B\u5916\u7EBF\u7167\u5C04\u73AF\u5883\u7B49\u3002 \n* XPS\u4E5F\u88AB\u79F0\u4F5CESCA\uFF0C\u8FD9\u662F\u5316\u5B66\u5206\u6790\u7528\u7535\u5B50\u80FD\u8C31\u5B66\uFF08Electron Spectroscopy for Chemical Analysis\uFF09\u7684\u7B80\u79F0\u3002 \n* XPS\u80FD\u591F\u68C0\u6D4B\u5230\u6240\u6709\u539F\u5B50\u5E8F\u6570\u5927\u4E8E\u7B49\u4E8E3\u7684\u5143\u7D20\uFF08\u5373\u5305\u62EC\u9502\u53CA\u6240\u6709\u6BD4\u9502\u91CD\u7684\u5143\u7D20\uFF09\uFF0C\u800C\u4E0D\u80FD\u68C0\u6D4B\u5230\u6C22\u548C\u6C26\u3002 \n* \u5BF9\u5927\u591A\u6570\u5143\u7D20\u800C\u8A00\u7684\u5927\u7EA6\u4E3A\u5343\u5206\u4E4B\u51E0\uFF0C\u5728\u7279\u5B9A\u6761\u4EF6\u4E0B\u68C0\u51FA\u6781\u9650\u4E5F\u6709\u53EF\u80FD\u8FBE\u5230\u767E\u4E07\u5206\u4E4B\u51E0\uFF0C\u4F8B\u5982\u5143\u7D20\u5728\u8868\u9762\u9AD8\u5EA6\u96C6\u4E2D\u6216\u9700\u8981\u957F\u65F6\u95F4\u7684\u7D2F\u79EF\u65F6\u95F4\u3002 \n* XPS\u88AB\u5E7F\u6CDB\u5E94\u7528\u65BC\u5206\u6790\u65E0\u673A\u5316\u5408\u7269\u3001\u5408\u91D1\u3001\u534A\u5BFC\u4F53\u3001\u805A\u5408\u7269\u3001\u5143\u7D20\u3001\u50AC\u5316\u5242\u3001\u73BB\u7483\u3001\u9676\u74F7\u3001\u67D3\u6599\u3001\u7EB8\u3001\u58A8\u6C34\u3001\u6728\u6750\u3001\u5316\u5986\u54C1\u3001\u7259\u9F7F\u3001\u9AA8\u9ABC\u3001\u3001\u751F\u7269\u6750\u6599\u3001\u6CB9\u8102\u3001\u80F6\u6C34\u7B49\u3002 XPS\u53EF\u4EE5\u7528\u6765\u6D4B\u91CF\uFF1A \n* \u8868\u9762\u7684\u5143\u7D20\u6784\u6210\uFF08\u901A\u5E38\u8303\u56F4\u4E3A1\u7EB3\u7C73\u523010\u7EB3\u7C73\uFF09 \n* \u7EAF\u51C0\u6750\u6599\u7684\u5B9E\u9A8C\u5F0F \n* \u4E0D\u7EAF\u51C0\u8868\u9762\u7684\u6742\u8D28\u7684\u5143\u7D20\u6784\u6210 \n* \u8868\u9762\u6BCF\u4E00\u79CD\u5143\u7D20\u7684\u5316\u5B66\u6001\u548C\u7535\u5B50\u6001 \n* \u8868\u9762\u5143\u7D20\u6784\u6210\u7684\u5747\u5300\u6027 \u8FDB\u884CX\u5C04\u7EBF\u5149\u7535\u5B50\u80FD\u8C31\u6280\u672F\u53EF\u4EE5\u91C7\u7528\u5546\u4E1A\u516C\u53F8\u6216\u4E2A\u4EBA\u5236\u9020\u7684XPS\u7CFB\u7EDF\uFF0C\u4E5F\u53EF\u91C7\u7528\u4E00\u4E2A\u57FA\u4E8E\u540C\u6B65\u52A0\u901F\u5668\u7684\u5149\u6E90\u548C\u4E00\u53F0\u7279\u522B\u8BBE\u8BA1\u7684\u7535\u5B50\u5206\u6790\u5668\u7EC4\u5408\u800C\u6210\u3002\u5546\u4E1A\u516C\u53F8\u5236\u9020\u7684XPS\u7CFB\u7EDF\u901A\u5E38\u91C7\u7528\u5149\u675F\u957F\u5EA6\u4E3A20\u81F3200\u5FAE\u7C73\u7684\u5355\u8272\u94DDK\u03B1\u7EBF\uFF0C\u6216\u8005\u91C7\u752810\u81F330\u5FAE\u7C73\u7684\u590D\u8272\u9541\u5C04\u7EBF\u3002\u67D0\u4E9B\u7ECF\u7279\u6B8A\u8BBE\u8BA1\u7684\u5C11\u6570XPS\u7CFB\u7EDF\u53EF\u4EE5\u7528\u65BC\u5206\u6790\u9AD8\u6E29\u6216\u4F4E\u6E29\u4E0B\u7684\u6325\u53D1\u6027\u6DB2\u4F53\u548C\u6C14\u4F53\u6750\u6599\uFF0C\u4EE5\u53CA\u5728\u538B\u5F3A\u5927\u7EA6\u4E3A1\u6258\u7684\u771F\u7A7A\u4E0B\u8FDB\u884C\u5DE5\u4F5C\uFF0C\u4F46\u8FD9\u7C7BXPS\u7CFB\u7EDF\u901A\u5E38\u90FD\u76F8\u5BF9\u5C11\u89C1\u3002 \u7531\u4E8E\u5BF9\u7279\u5B9A\u6CE2\u957F\u7684X\u5C04\u7EBF\uFF0C\u5176\u80FD\u91CF\u662F\u5DF2\u77E5\u7684\uFF0C\u5BF9\u4E8E\u6BCF\u4E00\u4E2A\u51FA\u5C04\u7535\u5B50\u6240\u5177\u6709\u7684\u7535\u5B50\u7ED3\u5408\u80FD\u53EF\u4EE5\u7531\u4E0B\u9762\u516C\u5F0F\u6C42\u51FA\uFF1A \u5176\u4E2D\u662F\u7535\u5B50\u7ED3\u5408\u80FD\uFF0C\u662F\u6240\u7528\u7684X\u5C04\u7EBF\u7684\u5149\u5B50\u7684\u80FD\u91CF\uFF0C\u662F\u88AB\u6D4B\u91CF\u5230\u7684\u7535\u5B50\u7684\u52A8\u80FD\uFF0C\u662F\uFF08\u800C\u4E0D\u662F\u6750\u6599\uFF09\u7684\u529F\u51FD\u6570\uFF0C\u4E0E\u6750\u6599\u8868\u9762\u76F8\u5173\u3002\u8FD9\u4E00\u516C\u5F0F\u662F\u57FA\u4E8E\u6B27\u5185\u65AF\u7279\u00B7\u5362\u745F\u798F\u57281914\u5E74\u7684\u5DE5\u4F5C\u5F97\u6765\u7684\u3002"@zh . . . "X\u7DDA\u5149\u96FB\u5B50\u5206\u5149\uFF08\u30A8\u30C3\u30AF\u30B9\u305B\u3093\u3053\u3046\u3067\u3093\u3057\u3076\u3093\u3053\u3046\uFF09\u306F\u3001\u5149\u96FB\u5B50\u5206\u5149\u306E1\u7A2E\u3067\u3042\u308B\u3002\u7565\u79F0\u306FXPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy) \u307E\u305F\u306F ESCA (Electron Spectroscopy for Chemical Analysis, \u30A8\u30B9\u30AB)\u3002\u30B5\u30F3\u30D7\u30EB\u8868\u9762\u306BX\u7DDA\u3092\u7167\u5C04\u3057\u3001\u751F\u3058\u308B\u5149\u96FB\u5B50\u306E\u30A8\u30CD\u30EB\u30AE\u30FC\u3092\u6E2C\u5B9A\u3059\u308B\u3053\u3068\u3067\u3001\u30B5\u30F3\u30D7\u30EB\u306E\u69CB\u6210\u5143\u7D20\u3068\u305D\u306E\u96FB\u5B50\u72B6\u614B\u3092\u5206\u6790\u3059\u308B\u3053\u3068\u304C\u3067\u304D\u308B\u3002\u4ED6\u306B\u3082PES\u3001PS\u7B49\u3068\u3082\u547C\u3070\u308C\u308B\u3002"@ja . . . . . . . . . . "\u0420\u0435\u043D\u0442\u0433\u0435\u043D\u0456\u0432\u0441\u044C\u043A\u0430 \u0444\u043E\u0442\u043E\u0435\u043B\u0435\u043A\u0442\u0440\u043E\u043D\u043D\u0430 \u0441\u043F\u0435\u043A\u0442\u0440\u043E\u0441\u043A\u043E\u043F\u0456\u044F (\u0430\u043D\u0433\u043B. X-ray photoelectron spectroscopy) \u2014 \u043C\u0435\u0442\u043E\u0434 \u0432\u0438\u0437\u043D\u0430\u0447\u0435\u043D\u043D\u044F \u0435\u043B\u0435\u043C\u0435\u043D\u0442\u043D\u043E\u0433\u043E \u0441\u043A\u043B\u0430\u0434\u0443 \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043E\u0457 \u043F\u043E\u0432\u0435\u0440\u0445\u043D\u0456 \u0448\u043B\u044F\u0445\u043E\u043C \u0431\u043E\u043C\u0431\u0430\u0440\u0434\u0443\u0432\u0430\u043D\u043D\u044F \u0457\u0457 \u0440\u0435\u043D\u0442\u0433\u0435\u043D\u0456\u0432\u0441\u044C\u043A\u0438\u043C \u0432\u0438\u043F\u0440\u043E\u043C\u0456\u043D\u0435\u043D\u043D\u044F\u043C \u0456 \u0440\u0435\u0454\u0441\u0442\u0440\u0430\u0446\u0456\u0457 \u043A\u0456\u043B\u044C\u043A\u043E\u0441\u0442\u0456 \u0443\u0442\u0432\u043E\u0440\u0435\u043D\u0438\u0445 \u0444\u043E\u0442\u043E\u0435\u043B\u0435\u043A\u0442\u0440\u043E\u043D\u0456\u0432 \u044F\u043A \u0444\u0443\u043D\u043A\u0446\u0456\u0457 \u0435\u043D\u0435\u0440\u0433\u0456\u0457 (\u0430\u0431\u043E \u0447\u0430\u0441\u0442\u043E\u0442\u0438 \u0432\u0438\u043F\u0440\u043E\u043C\u0456\u043D\u0435\u043D\u043D\u044F). \u0428\u0438\u0440\u043E\u043A\u043E \u0432\u0438\u043A\u043E\u0440\u0438\u0441\u0442\u043E\u0432\u0443\u0454\u0442\u044C\u0441\u044F \u0434\u043B\u044F \u0456\u0434\u0435\u043D\u0442\u0438\u0444\u0456\u043A\u0430\u0446\u0456\u0457 \u0435\u043B\u0435\u043C\u0435\u043D\u0442\u0456\u0432, \u0457\u0445 \u043A\u043E\u043D\u0446\u0435\u043D\u0442\u0440\u0430\u0446\u0456\u0439 \u0442\u0430 \u0457\u0445 \u0445\u0456\u043C\u0456\u0447\u043D\u043E\u0433\u043E \u0441\u0442\u0430\u043D\u0443 \u044F\u043A \u0443 \u0441\u0430\u043C\u043E\u043C\u0443 \u0437\u0440\u0430\u0437\u043A\u0443, \u0442\u0430\u043A \u0456 \u043D\u0430 \u0439\u043E\u0433\u043E \u043F\u043E\u0432\u0435\u0440\u0445\u043D\u0456. \u0423 \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043E\u0444\u0430\u0437\u043D\u0456\u0439 \u043A\u043E\u043C\u0431\u0456\u043D\u0430\u0442\u043E\u0440\u043D\u0456\u0439 \u0445\u0456\u043C\u0456\u0457 \u0437\u0430\u0441\u0442\u043E\u0441\u043E\u0432\u0443\u0454\u0442\u044C\u0441\u044F \u0448\u043B\u044F\u0445\u043E\u043C \u0432\u043A\u043B\u044E\u0447\u0435\u043D\u043D\u044F \u043C\u0456\u0447\u0435\u043D\u043E\u0433\u043E \u0430\u0442\u043E\u043C\u0430 \u0443 \u043B\u0456\u043D\u043A\u0435\u0440."@uk . . . . . . . "R\u00F6ntgenphotoelektronenspektroskopie (englisch: X-ray photoelectron spectroscopy, XPS, oft auch electron spectroscopy for chemical analysis, ESCA) ist eine etablierte Methode aus der Gruppe der Photoelektronenspektroskopien (PES), um die chemische Zusammensetzung vor allem von Festk\u00F6rpern bzw. deren Oberfl\u00E4che zerst\u00F6rungsfrei zu bestimmen. Man erh\u00E4lt dabei zun\u00E4chst eine Antwort auf die Frage der qualitativen Elementanalyse, also aus welchen chemischen Elementen der Festk\u00F6rper besteht. Lediglich Wasserstoff und Helium k\u00F6nnen aufgrund geringer Wirkungsquerschnitte nicht direkt nachgewiesen werden. Die Informationstiefe entspricht der Ausdringtiefe der ungestreuten bzw. elastisch gestreuten Elektronen und betr\u00E4gt in der Regel bis zu drei Nanometer. Mit winkelaufgel\u00F6ster Photoelektronenspektros"@de . . . . . . . "La spectrom\u00E9trie photo\u00E9lectronique X, ou spectrom\u00E9trie de photo\u00E9lectrons induits par rayons X (en anglais, X-Ray photoelectron spectrometry : XPS) est une m\u00E9thode de spectrom\u00E9trie photo\u00E9lectronique qui implique la mesure des spectres de photo\u00E9lectrons induits par des photons de rayon X. Dans une exp\u00E9rience XPS, l'\u00E9chantillon est bombard\u00E9 par des rayons X d'une certaine longueur d'onde, ce qui \u00E9met un photo\u00E9lectron qui est par la suite d\u00E9tect\u00E9. Les photo\u00E9lectrons ont des \u00E9nergies propres \u00E0 chaque \u00E9l\u00E9ment, ce qui permet de d\u00E9terminer la composition de l'\u00E9chantillon. Pour une analyse qualitative, l'\u00E9l\u00E9ment doit avoir une concentration plus \u00E9lev\u00E9e que 0,1 %, tandis qu'une analyse quantitative peut \u00EAtre effectu\u00E9e si 5 % de l'\u00E9l\u00E9ment est pr\u00E9sent."@fr . "La espectrometr\u00EDa fotoelectr\u00F3nica X o espectrometr\u00EDa de fotoelectrones inducidos por rayos X (en ingl\u00E9s, X-Ray photoelectron spectrometry, o XPS) es un m\u00E9todo de espectrometr\u00EDa fotoelectr\u00F3nica que implica la medici\u00F3n de los espectros de los fotoelectrones inducidos por fotones de rayos X. Es una espectroscopia semi-cuantitativa y de baja resoluci\u00F3n espacial que habitualmente se utiliza para estimar la estequiometr\u00EDa (con un error del 10% aproximadamente), y la estructura electr\u00F3nica de los elementos que existen en un material."@es . . . "Rentgenowska spektrometria fotoelektron\u00F3w (XPS, z ang. X-ray photoelectron spectroscopy) \u2013 odmiana spektroskopii elektronowej polegaj\u0105ca na analizie rozk\u0142adu energii kinetycznej fotoelektron\u00F3w emitowanych w wyniku wzbudzenia pr\u00F3bki promieniowaniem charakterystycznym z zakresu mi\u0119kkiego promieniowania rentgenowskiego."@pl . . . . "\u0420\u0435\u043D\u0442\u0433\u0435\u043D\u0456\u0432\u0441\u044C\u043A\u0430 \u0444\u043E\u0442\u043E\u0435\u043B\u0435\u043A\u0442\u0440\u043E\u043D\u043D\u0430 \u0441\u043F\u0435\u043A\u0442\u0440\u043E\u0441\u043A\u043E\u043F\u0456\u044F (\u0430\u043D\u0433\u043B. X-ray photoelectron spectroscopy) \u2014 \u043C\u0435\u0442\u043E\u0434 \u0432\u0438\u0437\u043D\u0430\u0447\u0435\u043D\u043D\u044F \u0435\u043B\u0435\u043C\u0435\u043D\u0442\u043D\u043E\u0433\u043E \u0441\u043A\u043B\u0430\u0434\u0443 \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043E\u0457 \u043F\u043E\u0432\u0435\u0440\u0445\u043D\u0456 \u0448\u043B\u044F\u0445\u043E\u043C \u0431\u043E\u043C\u0431\u0430\u0440\u0434\u0443\u0432\u0430\u043D\u043D\u044F \u0457\u0457 \u0440\u0435\u043D\u0442\u0433\u0435\u043D\u0456\u0432\u0441\u044C\u043A\u0438\u043C \u0432\u0438\u043F\u0440\u043E\u043C\u0456\u043D\u0435\u043D\u043D\u044F\u043C \u0456 \u0440\u0435\u0454\u0441\u0442\u0440\u0430\u0446\u0456\u0457 \u043A\u0456\u043B\u044C\u043A\u043E\u0441\u0442\u0456 \u0443\u0442\u0432\u043E\u0440\u0435\u043D\u0438\u0445 \u0444\u043E\u0442\u043E\u0435\u043B\u0435\u043A\u0442\u0440\u043E\u043D\u0456\u0432 \u044F\u043A \u0444\u0443\u043D\u043A\u0446\u0456\u0457 \u0435\u043D\u0435\u0440\u0433\u0456\u0457 (\u0430\u0431\u043E \u0447\u0430\u0441\u0442\u043E\u0442\u0438 \u0432\u0438\u043F\u0440\u043E\u043C\u0456\u043D\u0435\u043D\u043D\u044F). \u0428\u0438\u0440\u043E\u043A\u043E \u0432\u0438\u043A\u043E\u0440\u0438\u0441\u0442\u043E\u0432\u0443\u0454\u0442\u044C\u0441\u044F \u0434\u043B\u044F \u0456\u0434\u0435\u043D\u0442\u0438\u0444\u0456\u043A\u0430\u0446\u0456\u0457 \u0435\u043B\u0435\u043C\u0435\u043D\u0442\u0456\u0432, \u0457\u0445 \u043A\u043E\u043D\u0446\u0435\u043D\u0442\u0440\u0430\u0446\u0456\u0439 \u0442\u0430 \u0457\u0445 \u0445\u0456\u043C\u0456\u0447\u043D\u043E\u0433\u043E \u0441\u0442\u0430\u043D\u0443 \u044F\u043A \u0443 \u0441\u0430\u043C\u043E\u043C\u0443 \u0437\u0440\u0430\u0437\u043A\u0443, \u0442\u0430\u043A \u0456 \u043D\u0430 \u0439\u043E\u0433\u043E \u043F\u043E\u0432\u0435\u0440\u0445\u043D\u0456. \u0423 \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043E\u0444\u0430\u0437\u043D\u0456\u0439 \u043A\u043E\u043C\u0431\u0456\u043D\u0430\u0442\u043E\u0440\u043D\u0456\u0439 \u0445\u0456\u043C\u0456\u0457 \u0437\u0430\u0441\u0442\u043E\u0441\u043E\u0432\u0443\u0454\u0442\u044C\u0441\u044F \u0448\u043B\u044F\u0445\u043E\u043C \u0432\u043A\u043B\u044E\u0447\u0435\u043D\u043D\u044F \u043C\u0456\u0447\u0435\u043D\u043E\u0433\u043E \u0430\u0442\u043E\u043C\u0430 \u0443 \u043B\u0456\u043D\u043A\u0435\u0440."@uk . "70847"^^ . . . "45108"^^ . . . . . . . . . . "X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) is a surface-sensitive quantitative spectroscopic technique based on the photoelectric effect that can identify the elements that exist within a material (elemental composition) or are covering its surface, as well as their chemical state, and the overall electronic structure and density of the electronic states in the material. XPS is a powerful measurement technique because it not only shows what elements are present, but also what other elements they are bonded to. The technique can be used in line profiling of the elemental composition across the surface, or in depth profiling when paired with ion-beam etching. It is often applied to study chemical processes in the materials in their as-received state or after cleavage, scraping, exposure to heat, reactive gasses or solutions, ultraviolet light, or during ion implantation. XPS belongs to the family of photoemission spectroscopies in which electron population spectra are obtained by irradiating a material with a beam of X-rays. Chemical states are inferred from the measurement of the kinetic energy and the number of the ejected electrons. XPS requires high vacuum (residual gas pressure p ~ 10\u22126 Pa) or ultra-high vacuum (p < 10\u22127 Pa) conditions, although a current area of development is ambient-pressure XPS, in which samples are analyzed at pressures of a few tens of millibar. When laboratory X-ray sources are used, XPS easily detects all elements except hydrogen and helium. The detection limit is in the parts per thousand range, but parts per million (ppm) are achievable with long collection times and concentration at top surface. XPS is routinely used to analyze inorganic compounds, metal alloys, semiconductors, polymers, elements, catalysts, glasses, ceramics, paints, papers, inks, woods, plant parts, make-up, teeth, bones, medical implants, bio-materials, coatings, viscous oils, glues, ion-modified materials and many others. Somewhat less routinely XPS is used to analyze the hydrated forms of materials such as hydrogels and biological samples by freezing them in their hydrated state in an ultrapure environment, and allowing multilayers of ice to sublime away prior to analysis."@en . "XPS \u0645\u0637\u064A\u0627\u0641\u064A\u0629 \u0627\u0644\u0627\u0634\u0639\u0647 \u0627\u0644\u0633\u064A\u0646\u064A\u0647 \u0627\u0644\u0625\u0644\u0643\u062A\u0631\u0648\u0636\u0648\u0626\u064A\u0629 \u0645\u0637\u064A\u0627\u0641\u064A\u0629 \u0627\u0644\u0627\u0634\u0639\u0629 \u0627\u0644\u0633\u064A\u0646\u064A\u0629 : \u0647\u064A \u062A\u0642\u0646\u064A\u0629 \u0637\u064A\u0641\u064A\u0629 \u062A\u0642\u0648\u0645 \u0628\u0642\u064A\u0627\u0633 \u0627\u0644\u062A\u0643\u0648\u064A\u0646 \u0627\u0644\u0639\u0646\u0635\u0631\u064A\u060C \u0627\u0644\u0635\u064A\u063A\u0629 \u0627\u0644\u062A\u062C\u0631\u064A\u0628\u064A\u0629\u060C \u0627\u0644\u062D\u0627\u0644\u0629 \u0627\u0644\u0643\u064A\u0645\u064A\u0627\u0626\u064A\u0629 \u0648\u0627\u0644\u062D\u0627\u0644\u0629 \u0627\u0644\u0625\u0644\u0643\u062A\u0631\u0648\u0646\u064A\u0629 \u0644\u0644\u0639\u0646\u0627\u0635\u0631 \u0627\u0644\u0645\u0648\u062C\u0648\u062F\u0629 \u0641\u064A \u0627\u0644\u0645\u0627\u062F\u0629 \u0627\u0644\u0645\u0643\u0648\u0646\u0647 \u0644\u0633\u0637\u062D \u0639\u064A\u0646\u0629 \u0645\u0627 .\u064A\u062A\u0645 \u0627\u0644\u062D\u0635\u0648\u0644 \u0639\u0644\u0649 \u0627\u0644\u0627\u0634\u0639\u0647 \u0627\u0644\u0633\u064A\u0646\u064A\u0629 \u0627\u0644\u0645\u0633\u062A\u062E\u062F\u0645\u0629 \u0639\u0646 \u0637\u0631\u064A\u0642 \u0627\u0634\u0639\u0627\u0639 \u0645\u0627\u062F\u0629 \u0645\u0639 \u0634\u0639\u0627\u0639 \u0645\u0646 \u0627\u0644\u0627\u0634\u0639\u0629 \u0627\u0644\u0633\u064A\u0646\u064A\u0629 \u062D\u064A\u062B \u064A\u062A\u0645 \u0642\u064A\u0627\u0633 \u0627\u0644\u0637\u0627\u0642\u0629 \u0627\u0644\u062D\u0631\u0643\u064A\u0629 \u0648\u0639\u062F\u062F \u0627\u0644\u0627\u0644\u0643\u062A\u0631\u0648\u0646\u0627\u062A.\u0645\u0637\u064A\u0627\u0641\u064A\u0629 \u0627\u0644\u0627\u0634\u0639\u0647 \u0627\u0644\u0633\u064A\u0646\u064A\u0629 \u062A\u0633\u062A\u062E\u062F\u0645 \u0644\u0642\u064A\u0627\u0633 \u0623\u0633\u0637\u062D \u0627\u0644\u0645\u0648\u0627\u062F \u0627\u0644\u0643\u064A\u0645\u064A\u0627\u0626\u064A\u0629 \u0641\u064A \u062D\u0627\u0644\u062A\u0647\u0627 \u0627\u0644\u0637\u0628\u064A\u0639\u064A\u0629 \u0623\u0648 \u0641\u064A \u0627\u0644\u062D\u0627\u0644\u0629 \u0627\u0644\u0645\u0639\u0627\u0644\u062C\u0629 \u0645\u062B\u0644 \u0627\u0644\u062A\u0643\u0633\u064A\u0631 \u0623\u0648 \u0627\u0644\u0642\u0637\u0639 \u0623\u0648 \u0627\u0644\u062A\u062C\u0631\u064A\u0641 \u0641\u064A \u0627\u0644\u0647\u0648\u0627\u0621 . \n* \u2022 \u064A\u0639\u0631\u0641 \u0645\u0637\u064A\u0627\u0641\u064A\u0629 \u0627\u0644\u0627\u0634\u0639\u0647 \u0627\u0644\u0633\u064A\u0646\u064A\u0629 (\u0628\u0627\u0644\u0625\u0646\u0643\u0644\u064A\u0632\u064A\u0629 ESCA - Electron Spectroscopy for Chemical Analysis) \u0623\u064A \u0627\u0644\u062A\u062D\u0644\u064A\u0644 \u0627\u0644\u0637\u064A\u0641\u064A \u0627\u0644\u0625\u0644\u0643\u062A\u0631\u0648\u0646\u064A \u0644\u0644\u062A\u062D\u0644\u064A\u0644 \u0627\u0644\u0643\u064A\u0645\u064A\u0627\u0626\u064A\u060C \u0648\u0647\u0648 \u0627\u062E\u062A\u0635\u0627\u0631 \u0642\u062F\u0645\u062A\u0647 \u0645\u062C\u0645\u0648\u0639\u0629 \u0623\u0628\u062D\u0627\u062B \u0643\u0627\u064A \u0633\u064A\u063A\u0628\u0627\u0646 \u0644\u0644\u062A\u0623\u0643\u064A\u062F \u0639\u0644\u0649 \u0627\u0644\u0645\u0639\u0644\u0648\u0645\u0627\u062A \u0627\u0644\u0643\u064A\u0645\u064A\u0627\u0626\u064A\u0629 (\u0648\u0644\u064A\u0633 \u0639\u0646\u0635\u0631\u064A\u0629 \u0641\u0642\u0637) \u0627\u0644\u062A\u064A \u062A\u0648\u0641\u0631\u0647\u0627 \u0647\u0630\u0647 \u0627\u0644\u062A\u0642\u0646\u064A\u0629. \n* \u2022 \u0645\u0646 \u062D\u064A\u062B \u0627\u0644\u0645\u0628\u062F\u0623 \u064A\u0643\u0634\u0641 \u0645\u0637\u064A\u0627\u0641\u064A\u0629 \u0627\u0644\u0627\u0634\u0639\u0647 \u0627\u0644\u0633\u064A\u0646\u064A\u0629 \u062C\u0645\u064A\u0639 \u0627\u0644\u0639\u0646\u0627\u0635\u0631. \u0641\u064A \u0627\u0644\u0645\u0645\u0627\u0631\u0633\u0629 \u0627\u0644\u0639\u0645\u0644\u064A\u0629\u060C \u0628\u0627\u0633\u062A\u062E\u062F\u0627\u0645 \u0645\u0635\u0627\u062F\u0631 \u0627\u0644\u0623\u0634\u0639\u0629 \u0627\u0644\u0633\u064A\u0646\u064A\u0629 \u0627\u0644\u0645\u062E\u0628\u0631\u064A\u0629 \u0639\u0644\u0649 \u0646\u0637\u0627\u0642 \u0627\u0644\u0645\u062E\u062A\u0628\u0631\u060C \u0645\u0637\u064A\u0627\u0641\u064A\u0629 \u0627\u0644\u0627\u0634\u0639\u0647 \u0627\u0644\u0633\u064A\u0646\u064A\u0629 \u0628\u0627\u0644\u0643\u0634\u0641 \u0639\u0646 \u062C\u0645\u064A\u0639 \u0627\u0644\u0639\u0646\u0627\u0635\u0631 \u0645\u0639 \u0639\u062F\u062F \u0630\u0631\u064A (\u0627\u0644\u0644\u064A\u062B\u064A\u0648\u0645Z=3 ) \u0648\u0645\u0627 \u0641\u0648\u0642. \u0641\u0625\u0646\u0647 \u0644\u0627 \u064A\u0645\u0643\u0646 \u0628\u0633\u0647\u0648\u0644\u0629 \u0627\u0644\u0643\u0634\u0641 \u0639\u0646 \u0627\u0644\u0647\u064A\u062F\u0631\u0648\u062C\u064A\u0646 (Z = 1) \u0623\u0648 \u0627\u0644\u0647\u064A\u0644\u064A\u0648\u0645 (Z=2) \n* \u2022 \u0648\u062A\u0633\u062A\u062E\u062F\u0645 \u0645\u0637\u064A\u0627\u0641\u064A\u0629 \u0627\u0644\u0627\u0634\u0639\u0647 \u0627\u0644\u0633\u064A\u0646\u064A\u0629 \u0628\u0634\u0643\u0644 \u0631\u0648\u062A\u064A\u0646\u064A \u0644\u062A\u062D\u0644\u064A\u0644 \u0627\u0644\u0645\u0631\u0643\u0628\u0627\u062A \u063A\u064A\u0631 \u0627\u0644\u0639\u0636\u0648\u064A\u0629 \u0648\u0627\u0644\u0633\u0628\u0627\u0626\u0643 \u0627\u0644\u0645\u0639\u062F\u0646\u064A\u0629 \u0648\u0623\u0634\u0628\u0627\u0647 \u0627\u0644\u0645\u0648\u0635\u0644\u0627\u062A \u0648\u0627\u0644\u0628\u0648\u0644\u064A\u0645\u0631\u0627\u062A \u0648\u0627\u0644\u0639\u0646\u0627\u0635\u0631 \u0648\u0627\u0644\u0645\u062D\u0641\u0632\u0627\u062A \u0648\u0627\u0644\u0646\u0638\u0627\u0631\u0627\u062A \u0648\u0627\u0644\u0633\u064A\u0631\u0627\u0645\u064A\u0643 \u0648\u0627\u0644\u062F\u0647\u0627\u0646\u0627\u062A \u0648\u0627\u0644\u0623\u0648\u0631\u0627\u0642 \u0648\u0627\u0644\u0623\u062D\u0628\u0627\u0631 \u0648\u0627\u0644\u063A\u0627\u0628\u0627\u062A \u0648\u0642\u0637\u0639 \u0627\u0644\u0646\u0628\u0627\u062A \u0648\u0627\u0644\u0645\u0643\u064A\u0627\u062C \u0648\u0627\u0644\u0623\u0633\u0646\u0627\u0646 \u0648\u0627\u0644\u0639\u0638\u0627\u0645 \u0648\u0627\u0644\u063A\u0631\u0633\u0627\u062A \u0627\u0644\u0637\u0628\u064A\u0629 \u0648\u0627\u0644\u0645\u0648\u0627\u062F \u0627\u0644\u062D\u064A\u0648\u064A\u0629\u060C \u0648\u0627\u0644\u0632\u064A\u0648\u062A \u0627\u0644\u0644\u0632\u062C\u0629\u060C \u0648\u0627\u0644\u0645\u0648\u0627\u062F \u0627\u0644\u0644\u0627\u0635\u0642\u0629. \n* \u2022 \u0623\u0642\u0644 \u0627\u0633\u062A\u062E\u062F\u0627\u0645\u0627 \u0628\u0634\u0643\u0644 \u0631\u0648\u062A\u064A\u0646\u064A \u0644\u062A\u062D\u0644\u064A\u0644 \u0627\u0644\u0623\u0634\u0643\u0627\u0644 \u0627\u0644\u0645\u0627\u0626\u064A\u0629 \u0644\u0628\u0639\u0636 \u0627\u0644\u0645\u0648\u0627\u062F \u0627\u0644\u0645\u0630\u0643\u0648\u0631\u0629 \u0623\u0639\u0644\u0627\u0647 \u0639\u0646 \u0637\u0631\u064A\u0642 \u062A\u062C\u0645\u064A\u062F \u0627\u0644\u0639\u064A\u0646\u0627\u062A \u0641\u064A \u062D\u0627\u0644\u062A\u0647\u0627 \u0627\u0644\u0645\u0627\u0626\u064A\u0629 \u0641\u064A \u0628\u064A\u0626\u0629 \u0646\u0642\u064A\u0629 \u062C\u062F\u0627\u060C \u0648\u0627\u0644\u0633\u0645\u0627\u062D \u0623\u0648 \u0627\u0644\u062A\u0633\u0628\u0628 \u0645\u062A\u0639\u062F\u062F\u0629 \u0627\u0644\u0637\u0628\u0642\u0627\u062A \u0645\u0646 \u0627\u0644\u062C\u0644\u064A\u062F \u0625\u0644\u0649 \u0633\u0627\u0645\u064A\u0629 \u0628\u0639\u064A\u062F\u0627 \u0642\u0628\u0644 \u0627\u0644\u062A\u062D\u0644\u064A\u0644. \u064A\u0633\u0645\u062D \u062A\u062D\u0644\u064A\u0644 \u0645\u0637\u064A\u0627\u0641\u064A\u0629 \u0627\u0644\u0627\u0634\u0639\u0647 \u0627\u0644\u0633\u064A\u0646\u064A\u0629 \u0627\u0644\u0645\u0627\u0626\u064A \u0647\u0630\u0627 \u0628\u0628\u0646\u064A\u0629 \u0639\u064A\u0646\u0629 \u0631\u0637\u0628\u0629\u060C \u0648\u0627\u0644\u062A\u064A \u0642\u062F \u062A\u0643\u0648\u0646 \u0645\u062E\u062A\u0644\u0641\u0629 \u0639\u0646 \u0647\u064A\u0627\u0643\u0644 \u0627\u0644\u0639\u064A\u0646\u0627\u062A \u0627\u0644\u0645\u062C\u0641\u0641\u0629 \u0628\u0627\u0644\u0647\u0648\u0627\u0621\u060C \u0648\u0627\u0644\u062A\u064A \u064A\u062C\u0628 \u062F\u0631\u0627\u0633\u062A\u0647\u0627 \u0641\u064A \u0647\u064A\u0643\u0644\u0647\u0627 \u0627\u0644\u0645\u0627\u0626\u064A \u0627\u0644\u0623\u0643\u062B\u0631 \u0627\u0633\u062A\u062E\u062F\u0627\u0645\u0627. \u0627\u0644\u0639\u062F\u064A\u062F \u0645\u0646 \u0627\u0644\u0645\u0648\u0627\u062F \u0627\u0644\u062D\u064A\u0648\u064A\u0629 \u0645\u062B\u0644 \u0627\u0644\u0647\u0644\u0627\u0645\u064A\u0627\u062A \u0627\u0644\u0645\u0627\u0626\u064A\u0629 \u0647\u064A \u0623\u0645\u062B\u0644\u0629 \u0639\u0644\u0649 \u0647\u0630\u0647 \u0627\u0644\u0639\u064A\u0646\u0627\u062A."@ar . . "La spettroscopia fotoelettronica a raggi X, comunemente indicata con XPS o XPES (dall'inglese X-ray photoelectron spectroscopy), \u00E8 una tecnica di spettroscopia fotoelettronica, per la precisione una spettroscopia ESCA, utilizzata per sondare le superfici dei materiali. Essa consente infatti di conoscere gli elementi chimici che compongono la superficie di un materiale e di determinarne talvolta lo stato di legame."@it . . "Espectrosc\u00F2pia de fotoelectrons emesos per raigs X"@ca . . . . "X\u5C04\u7EBF\u5149\u7535\u5B50\u80FD\u8C31\u5B66"@zh . . "\u0645\u0637\u064A\u0627\u0641\u064A\u0629 \u0627\u0644\u0623\u0634\u0639\u0629 \u0627\u0644\u0633\u064A\u0646\u064A\u0629 \u0628\u0627\u0644\u0625\u0644\u0643\u062A\u0631\u0648\u0646 \u0627\u0644\u0636\u0648\u0626\u064A"@ar . . . . "X-ray photoelectron spectroscopy"@en . . . . . . . . . . "A espectroscopia de fotoel\u00E9trons excitados por raios X ou XPS (do ingl\u00EAs X-ray photoelectron spectroscopy, tamb\u00E9m conhecida por espectroscopia de el\u00E9trons para an\u00E1lise qu\u00EDmica (ESCA, electron spectroscopy for chemical analysis) ou \u00E0s vezes por espectroscopia R\u00F6ntgen de fotoel\u00E9trons, \u00E9 uma t\u00E9cnica experimental de an\u00E1lise que encontra grande aplica\u00E7\u00E3o em \u00E1reas onde o estudo f\u00EDsico-qu\u00EDmico de amostras mostre-se importante. Em especial, \u00E9 de grande valia em trabalhos na \u00E1rea da f\u00EDsica do estado s\u00F3lido. Na pr\u00E1tica uma t\u00E9cnica de an\u00E1lise de superf\u00EDcie, a espectroscopia XPS fundamenta-se no efeito fotoel\u00E9trico, efeito experimentalmente descoberto por Heinrich Hertz em 1887 e teoricamente explicado por Albert Einstein em 1905, explica\u00E7\u00E3o te\u00F3rica que lhe valeu o Pr\u00EAmio Nobel de F\u00EDsica em 1921. Em ess\u00EAncia, esta t\u00E9cnica consiste em se iluminar uma amostra com raios X e em coletar os fotoel\u00E9trons por ela emitidos em um , dispositivo esse capaz de resolv\u00EA-los em fun\u00E7\u00E3o das respectivas velocidades (energias cin\u00E9ticas) e de, ent\u00E3o, cont\u00E1-los. Um gr\u00E1fico de contagem de el\u00E9trons x velocidade (corrente x energia cin\u00E9tica) \u00E9 estabelecido por varredura, geralmente atrav\u00E9s de um mecanismo de coleta de dados automatizado, e um espectro de XPS \u00E9 obtido. Os espectros XPS permitem identificar quantitativamente, em profundidades da ordem de dezenas de nan\u00F4metros e com incerteza de fra\u00E7\u00E3o centesimal de camada at\u00F4mica, todos os elementos qu\u00EDmicos na superf\u00EDcie da amostra, suas concentra\u00E7\u00F5es relativas, o ambiente qu\u00EDmico dos elementos - seus estados de oxida\u00E7\u00E3o - e em casos espec\u00EDficos permite inclusive inferir a morfologia da superf\u00EDcie em an\u00E1lise"@pt . "\u0420\u0435\u043D\u0442\u0433\u0435\u043D\u043E\u0432\u0441\u043A\u0430\u044F \u0444\u043E\u0442\u043E\u044D\u043B\u0435\u043A\u0442\u0440\u043E\u043D\u043D\u0430\u044F \u0441\u043F\u0435\u043A\u0442\u0440\u043E\u0441\u043A\u043E\u043F\u0438\u044F (\u0420\u0424\u042D\u0421) \u2014 \u043F\u043E\u043B\u0443\u043A\u043E\u043B\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043D\u043D\u044B\u0439 \u0441\u043F\u0435\u043A\u0442\u0440\u043E\u0441\u043A\u043E\u043F\u0438\u0447\u0435\u0441\u043A\u0438\u0439 \u043C\u0435\u0442\u043E\u0434 \u0438\u0441\u0441\u043B\u0435\u0434\u043E\u0432\u0430\u043D\u0438\u044F \u044D\u043B\u0435\u043C\u0435\u043D\u0442\u043D\u043E\u0433\u043E \u0441\u043E\u0441\u0442\u0430\u0432\u0430, \u0445\u0438\u043C\u0438\u0447\u0435\u0441\u043A\u043E\u0433\u043E \u0438 \u044D\u043B\u0435\u043A\u0442\u0440\u043E\u043D\u043D\u043E\u0433\u043E \u0441\u043E\u0441\u0442\u043E\u044F\u043D\u0438\u044F \u0430\u0442\u043E\u043C\u043E\u0432, \u043D\u0430 \u043F\u043E\u0432\u0435\u0440\u0445\u043D\u043E\u0441\u0442\u0438 \u0438\u0437\u0443\u0447\u0430\u0435\u043C\u043E\u0433\u043E \u043C\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043B\u0430. \u041E\u043D \u043E\u0441\u043D\u043E\u0432\u0430\u043D \u043D\u0430 \u044F\u0432\u043B\u0435\u043D\u0438\u0438 \u0432\u043D\u0435\u0448\u043D\u0435\u0433\u043E \u0444\u043E\u0442\u043E\u044D\u0444\u0444\u0435\u043A\u0442\u0430. \u0421\u043F\u0435\u043A\u0442\u0440\u044B \u0420\u0424\u042D\u0421 \u043F\u043E\u043B\u0443\u0447\u0430\u044E\u0442 \u043E\u0431\u043B\u0443\u0447\u0435\u043D\u0438\u0435\u043C \u043C\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043B\u0430 \u043F\u0443\u0447\u043A\u043E\u043C \u0440\u0435\u043D\u0442\u0433\u0435\u043D\u043E\u0432\u0441\u043A\u0438\u0445 \u043B\u0443\u0447\u0435\u0439 \u0441 \u0440\u0435\u0433\u0438\u0441\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u0435\u0439 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043C\u043E\u0441\u0442\u0438 \u043A\u043E\u043B\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0438\u0441\u043F\u0443\u0441\u043A\u0430\u0435\u043C\u044B\u0445 \u044D\u043B\u0435\u043A\u0442\u0440\u043E\u043D\u043E\u0432 \u043E\u0442 \u0438\u0445 \u044D\u043D\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438 \u0441\u0432\u044F\u0437\u0438. \u0418\u0441\u0441\u043B\u0435\u0434\u0443\u0435\u043C\u044B\u0435 \u044D\u043B\u0435\u043A\u0442\u0440\u043E\u043D\u044B \u044D\u043C\u0438\u0442\u0442\u0438\u0440\u0443\u044E\u0442\u0441\u044F \u043F\u043E \u0432\u0441\u0435\u0439 \u0433\u043B\u0443\u0431\u0438\u043D\u0435 \u043F\u0440\u043E\u043D\u0438\u043A\u043D\u043E\u0432\u0435\u043D\u0438\u044F \u0438\u0441\u043F\u043E\u043B\u044C\u0437\u0443\u0435\u043C\u043E\u0433\u043E \u043C\u044F\u0433\u043A\u043E\u0433\u043E \u0440\u0435\u043D\u0442\u0433\u0435\u043D\u043E\u0432\u0441\u043A\u043E\u0433\u043E \u0438\u0437\u043B\u0443\u0447\u0435\u043D\u0438\u044F \u0432 \u0438\u0441\u0441\u043B\u0435\u0434\u0443\u0435\u043C\u044B\u0439 \u043E\u0431\u0440\u0430\u0437\u0435\u0446 (\u043E\u0431\u044B\u0447\u043D\u043E \u043F\u043E\u0440\u044F\u0434\u043A\u0430 1 \u043C\u043A\u043C, \u0447\u0442\u043E \u043E\u0447\u0435\u043D\u044C \u043C\u043D\u043E\u0433\u043E \u043F\u043E \u0441\u0440\u0430\u0432\u043D\u0435\u043D\u0438\u044E \u0441 \u0440\u0430\u0437\u043C\u0435\u0440\u0430\u043C\u0438 \u0430\u0442\u043E\u043C\u043E\u0432 \u0438 \u043C\u043E\u043B\u0435\u043A\u0443\u043B). \u041E\u0434\u043D\u0430\u043A\u043E, \u0432\u044B\u0431\u0438\u0442\u044B\u0435 \u0440\u0435\u043D\u0442\u0433\u0435\u043D\u043E\u0432\u0441\u043A\u0438\u043C\u0438 \u043A\u0432\u0430\u043D\u0442\u0430\u043C\u0438 \u044D\u043B\u0435\u043A\u0442\u0440\u043E\u043D\u044B \u0441\u0438\u043B\u044C\u043D\u043E \u043F\u043E\u0433\u043B\u043E\u0449\u0430\u044E\u0442\u0441\u044F \u0438\u0441\u0441\u043B\u0435\u0434\u0443\u0435\u043C\u044B\u043C \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043E\u043C \u043D\u0430\u0441\u0442\u043E\u043B\u044C\u043A\u043E, \u0447\u0442\u043E \u044D\u043C\u0438\u0442\u0442\u0438\u0440\u043E\u0432\u0430\u043D\u043D\u044B\u0435 \u043D\u0430 \u0433\u043B\u0443\u0431\u0438\u043D\u0435 \u043E\u043A\u043E\u043B\u043E 100 \u00C5 \u043E\u043D\u0438 \u0443\u0436\u0435 \u043D\u0435 \u043C\u043E\u0433\u0443\u0442 \u0434\u043E\u0441\u0442\u0438\u0447\u044C \u043F\u043E\u0432\u0435\u0440"@ru . "A espectroscopia de fotoel\u00E9trons excitados por raios X ou XPS (do ingl\u00EAs X-ray photoelectron spectroscopy, tamb\u00E9m conhecida por espectroscopia de el\u00E9trons para an\u00E1lise qu\u00EDmica (ESCA, electron spectroscopy for chemical analysis) ou \u00E0s vezes por espectroscopia R\u00F6ntgen de fotoel\u00E9trons, \u00E9 uma t\u00E9cnica experimental de an\u00E1lise que encontra grande aplica\u00E7\u00E3o em \u00E1reas onde o estudo f\u00EDsico-qu\u00EDmico de amostras mostre-se importante. Em especial, \u00E9 de grande valia em trabalhos na \u00E1rea da f\u00EDsica do estado s\u00F3lido."@pt . . "X\u7DDA\u5149\u96FB\u5B50\u5206\u5149\uFF08\u30A8\u30C3\u30AF\u30B9\u305B\u3093\u3053\u3046\u3067\u3093\u3057\u3076\u3093\u3053\u3046\uFF09\u306F\u3001\u5149\u96FB\u5B50\u5206\u5149\u306E1\u7A2E\u3067\u3042\u308B\u3002\u7565\u79F0\u306FXPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy) \u307E\u305F\u306F ESCA (Electron Spectroscopy for Chemical Analysis, \u30A8\u30B9\u30AB)\u3002\u30B5\u30F3\u30D7\u30EB\u8868\u9762\u306BX\u7DDA\u3092\u7167\u5C04\u3057\u3001\u751F\u3058\u308B\u5149\u96FB\u5B50\u306E\u30A8\u30CD\u30EB\u30AE\u30FC\u3092\u6E2C\u5B9A\u3059\u308B\u3053\u3068\u3067\u3001\u30B5\u30F3\u30D7\u30EB\u306E\u69CB\u6210\u5143\u7D20\u3068\u305D\u306E\u96FB\u5B50\u72B6\u614B\u3092\u5206\u6790\u3059\u308B\u3053\u3068\u304C\u3067\u304D\u308B\u3002\u4ED6\u306B\u3082PES\u3001PS\u7B49\u3068\u3082\u547C\u3070\u308C\u308B\u3002"@ja . "R\u00F6ntgenphotoelektronenspektroskopie (englisch: X-ray photoelectron spectroscopy, XPS, oft auch electron spectroscopy for chemical analysis, ESCA) ist eine etablierte Methode aus der Gruppe der Photoelektronenspektroskopien (PES), um die chemische Zusammensetzung vor allem von Festk\u00F6rpern bzw. deren Oberfl\u00E4che zerst\u00F6rungsfrei zu bestimmen. Man erh\u00E4lt dabei zun\u00E4chst eine Antwort auf die Frage der qualitativen Elementanalyse, also aus welchen chemischen Elementen der Festk\u00F6rper besteht. Lediglich Wasserstoff und Helium k\u00F6nnen aufgrund geringer Wirkungsquerschnitte nicht direkt nachgewiesen werden. Die Informationstiefe entspricht der Ausdringtiefe der ungestreuten bzw. elastisch gestreuten Elektronen und betr\u00E4gt in der Regel bis zu drei Nanometer. Mit winkelaufgel\u00F6ster Photoelektronenspektroskopie wird die elektronische Struktur eines Festk\u00F6rpers untersucht."@de . "Rentgenowska spektrometria fotoelektron\u00F3w (XPS, z ang. X-ray photoelectron spectroscopy) \u2013 odmiana spektroskopii elektronowej polegaj\u0105ca na analizie rozk\u0142adu energii kinetycznej fotoelektron\u00F3w emitowanych w wyniku wzbudzenia pr\u00F3bki promieniowaniem charakterystycznym z zakresu mi\u0119kkiego promieniowania rentgenowskiego."@pl . . . . . . "XPS \u0645\u0637\u064A\u0627\u0641\u064A\u0629 \u0627\u0644\u0627\u0634\u0639\u0647 \u0627\u0644\u0633\u064A\u0646\u064A\u0647 \u0627\u0644\u0625\u0644\u0643\u062A\u0631\u0648\u0636\u0648\u0626\u064A\u0629 \u0645\u0637\u064A\u0627\u0641\u064A\u0629 \u0627\u0644\u0627\u0634\u0639\u0629 \u0627\u0644\u0633\u064A\u0646\u064A\u0629 : \u0647\u064A \u062A\u0642\u0646\u064A\u0629 \u0637\u064A\u0641\u064A\u0629 \u062A\u0642\u0648\u0645 \u0628\u0642\u064A\u0627\u0633 \u0627\u0644\u062A\u0643\u0648\u064A\u0646 \u0627\u0644\u0639\u0646\u0635\u0631\u064A\u060C \u0627\u0644\u0635\u064A\u063A\u0629 \u0627\u0644\u062A\u062C\u0631\u064A\u0628\u064A\u0629\u060C \u0627\u0644\u062D\u0627\u0644\u0629 \u0627\u0644\u0643\u064A\u0645\u064A\u0627\u0626\u064A\u0629 \u0648\u0627\u0644\u062D\u0627\u0644\u0629 \u0627\u0644\u0625\u0644\u0643\u062A\u0631\u0648\u0646\u064A\u0629 \u0644\u0644\u0639\u0646\u0627\u0635\u0631 \u0627\u0644\u0645\u0648\u062C\u0648\u062F\u0629 \u0641\u064A \u0627\u0644\u0645\u0627\u062F\u0629 \u0627\u0644\u0645\u0643\u0648\u0646\u0647 \u0644\u0633\u0637\u062D \u0639\u064A\u0646\u0629 \u0645\u0627 .\u064A\u062A\u0645 \u0627\u0644\u062D\u0635\u0648\u0644 \u0639\u0644\u0649 \u0627\u0644\u0627\u0634\u0639\u0647 \u0627\u0644\u0633\u064A\u0646\u064A\u0629 \u0627\u0644\u0645\u0633\u062A\u062E\u062F\u0645\u0629 \u0639\u0646 \u0637\u0631\u064A\u0642 \u0627\u0634\u0639\u0627\u0639 \u0645\u0627\u062F\u0629 \u0645\u0639 \u0634\u0639\u0627\u0639 \u0645\u0646 \u0627\u0644\u0627\u0634\u0639\u0629 \u0627\u0644\u0633\u064A\u0646\u064A\u0629 \u062D\u064A\u062B \u064A\u062A\u0645 \u0642\u064A\u0627\u0633 \u0627\u0644\u0637\u0627\u0642\u0629 \u0627\u0644\u062D\u0631\u0643\u064A\u0629 \u0648\u0639\u062F\u062F \u0627\u0644\u0627\u0644\u0643\u062A\u0631\u0648\u0646\u0627\u062A.\u0645\u0637\u064A\u0627\u0641\u064A\u0629 \u0627\u0644\u0627\u0634\u0639\u0647 \u0627\u0644\u0633\u064A\u0646\u064A\u0629 \u062A\u0633\u062A\u062E\u062F\u0645 \u0644\u0642\u064A\u0627\u0633 \u0623\u0633\u0637\u062D \u0627\u0644\u0645\u0648\u0627\u062F \u0627\u0644\u0643\u064A\u0645\u064A\u0627\u0626\u064A\u0629 \u0641\u064A \u062D\u0627\u0644\u062A\u0647\u0627 \u0627\u0644\u0637\u0628\u064A\u0639\u064A\u0629 \u0623\u0648 \u0641\u064A \u0627\u0644\u062D\u0627\u0644\u0629 \u0627\u0644\u0645\u0639\u0627\u0644\u062C\u0629 \u0645\u062B\u0644 \u0627\u0644\u062A\u0643\u0633\u064A\u0631 \u0623\u0648 \u0627\u0644\u0642\u0637\u0639 \u0623\u0648 \u0627\u0644\u062A\u062C\u0631\u064A\u0641 \u0641\u064A \u0627\u0644\u0647\u0648\u0627\u0621 ."@ar . "Espectroscopia de fotoel\u00E9trons excitados por raios X"@pt . . . "espectrosc\u00F2pia de fotoelectrons emesos per Raigs X (XPS) \u00E9s una Espectrosc\u00F2pia semi-quantitativa i de baixa resoluci\u00F3 espacial que habitualment s'utilitza per estimar l'estequiometria (amb un error del 10% aproximadament), estat qu\u00EDmic i l'estructura electr\u00F2nica dels elements que hi ha en un material. Els espectres XPS s\u00F3n obtinguts quan una mostra \u00E9s irradiada per raigs X (habitualment l'\u00E0node potser d'Al o Mg) mentre es mesura l'energia cin\u00E8tica i el nombre d'electrons que escapen de la superf\u00EDcie del material analitzat. Per a una mesura de XPS es requereixen condicions d'ultraalt buit pel fet que a pressions majors la taxa dadsorci\u00F3 de contaminaci\u00F3 sobre la mostra pot ser de l'ordre de diverses monocapes at\u00F2miques per segon, impedint la mesurament de la superf\u00EDcie que realment es vol analitzar."@ca . . . "Spettroscopia fotoelettronica a raggi X"@it . . . . . . . "R\u00F6ntgenphotoelektronenspektroskopie"@de . . . . "1114730044"^^ . . . . . . . . . "X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) is a surface-sensitive quantitative spectroscopic technique based on the photoelectric effect that can identify the elements that exist within a material (elemental composition) or are covering its surface, as well as their chemical state, and the overall electronic structure and density of the electronic states in the material. XPS is a powerful measurement technique because it not only shows what elements are present, but also what other elements they are bonded to. The technique can be used in line profiling of the elemental composition across the surface, or in depth profiling when paired with ion-beam etching. It is often applied to study chemical processes in the materials in their as-received state or after cleavage, scraping, exposure to heat,"@en . . . . . . . "Espectroscopia de fotoelectrones emitidos por rayos X"@es . . . . . . . "Spektroskopia fotoelektron\u00F3w w zakresie promieniowania X"@pl . . . . .