| dbo:abstract
|
- Eine Turbomolekularpumpe ist eine mechanische Vakuumpumpe. Sie arbeitet, indem sie das Pumpgas in einer molekularen Strömung fördert, arbeitet also wie die von Wolfgang Gaede 1913 erfundene Molekularpumpe. Sie ist im Kern ähnlich wie eine Turbine aus runden, koaxial liegenden Rotor- und Statorscheiben (aus radial verlaufenden gekippten Blättern) aufgebaut, die abwechselnd aufeinander folgen, und auf der Rotorachse bzw. im Pumpengehäuse befestigt sind. Der elektrische Antriebsmotor befindet sich auf der Rotorachse. Namensgebend ist die geometrisch turbinenartige Ausformung. Sie wurde 1956 von Willi Becker erfunden. (de)
- Una bomba turbomolecular es un tipo de bomba de vacío, con algunas similitudes generales con una turbobomba, que se utiliza para obtener y mantenerun alto vacío. Estas bombas funcionan en base al principio de que es posible transferir momento a las moléculas de gas en una dirección determinada mediante choques sucesivos contra una superficie móvil sólida. En una bomba turbomolecular, el rotor de una turbina que gira a gran velocidad golpea a las moléculas de gas y las impulsa desde la entrada de la bomba hacia su descarga de cara a crear o mantener las condiciones de vacío. (es)
- Une pompe turbomoléculaire est un type de pompe à vide, n'ayant aucun rapport avec une turbopompe, utilisée pour tirer et maintenir une enceinte sous vide poussé, jusqu'à 10−7 Pa. Le pompage, ou plutôt la compression puisqu'il s'agit d'un gaz, s'effectue à l'aide d'une multitude d'étages de rotor en rotation et de parties statoriques de redressement fixes. (fr)
- A turbomolecular pump is a type of vacuum pump, superficially similar to a turbopump, used to obtain and maintain high vacuum. These pumps work on the principle that gas molecules can be given momentum in a desired direction by repeated collision with a moving solid surface. In a turbomolecular pump, a rapidly spinning fan rotor 'hits' gas molecules from the inlet of the pump towards the exhaust in order to create or maintain a vacuum. (en)
- ターボ分子ポンプ（ターボぶんしポンプ、英語：turbomolecular pump、略称：TMP）は機械式真空ポンプの一種で、金属製のタービン翼を持った回転体であるロータが高速回転し、気体分子を弾き飛ばすことによりガスを排気するポンプである。JISではこのような排気方式を「運動量輸送式」の真空ポンプと呼んでいる。 ターボ分子ポンプは、1912年にドイツのW.ゲーデによって機械式高真空ポンプの起源となる分子ポンプが考案され、その後、同じくドイツのW.ベッカーが1955年にタービン翼を有するターボ分子ポンプ(TMP)を考案、これが1958年に商品化されたのが最初といわれる。 動作原理は、斜めに配置されたタービン翼を高速回転（数万rpmに達する）させて吸気から排気への通過確率(A)と排気から吸気への通過確率(B)に差をつける事で圧力差を発生させる。設計上の排気速度は（開口面積×11.6×A/（B×p））となる（pは圧力上昇分）。翼の角度と回転数（翼速度）をモンテカルロ法などで計算すると、翼角度大＝排気速度大、圧縮比小。翼角度小＝排気速度小、圧縮比大となってくる。到達圧力は 10−7Pa (10−10Torr)程度。 その原理から、気体分子に対する翼速度（翼速度比）によって排気速度が変化するため軽ガス（水素・ヘリウム）に対しては排気速度が低下する。動作圧力には制限があるため、普通はロータリーポンプを補助ポンプとして用い、1セットになっている。ポンプ使用中に圧力が高真空から低真空側へ急激に変化した場合、ポンプの破損に繋がる可能性がある。 TMPは良い真空が得られる手軽で便利なポンプである。ロータの支持方式としては、油潤滑式の玉軸受型とグリス潤滑式、磁気浮上型がある。玉軸受けの油潤滑式は価格が手ごろな利点があるが、取り付け方向は一方向に限られる。グリス潤滑式は取り付け方向に制限が無い場合が多いが、玉軸受け寿命・グリス補給と保守面で課題も多い。 磁気浮上型は
* 完全にオイルフリー
* 取り付け方向の自由度が高い（逆さまや横向きでも設置可能） といった利点がある。その代わり、停電時の対策としてバッテリーが必要なものが多い。近年では、ロータの回転運動エネルギーを電力に回生し、磁気浮上に利用するバッテリーレス化も進んでいる。 構造上、内部のタービン翼が歪むと、高速回転中の動翼と上下に挟まれた固定翼(静翼)同士が接触して一瞬で壊れてしまう恐れがある。またターボ分子ポンプを設置する際には、固定を厳重にしておかねばならない。 (ja)
- Le pompe turbomolecolari, introdotte nel 1958, sono delle pompe secondarie per alto vuoto, utilizzate generalmente in laboratorio o nei microscopi elettronici in sostituzione della pompa a diffusione di vapore, rispetto alle quali hanno minori problemi di contaminazione grazie all'assenza del fluido da vaporizzare. Le pompe turbomolecolari sono delle pompe assiali a trascinamento in cui il rotore è formato da vari dischi equipaggiati di alette, i quali ruotano tra i dischi dello statore, pure equipaggiati di alette inclinate in senso opposto. La del rotore è dell'ordine della velocità del suono del gas da evacuare. (it)
- Pompa turbomolekularna – pompa próżniowa pozwalająca uzyskiwać wysokiej jakości próżnię. (pl)
- Турбомолекулярный насос — один из видов вакуумных насосов, служащий для создания и поддержки высокого вакуума.Действие турбомолекулярного насоса основано на сообщении молекулам откачиваемого газа дополнительной скорости в направлении откачки вращающимся ротором. Ротор состоит из системы дисков. Вакуум, создаваемый турбомолекулярным насосом, — от 10 −2 Па до 10−8 Па (10−10 мбар; 7,5 −11 мм рт ст). Скорость вращения ротора — десятки тысяч оборотов в минуту. Для работы требует применения форвакуумного насоса. (ru)
- Bomba turbomolecular é um tipo de bomba de vácuo (bomba de transferência de momento) que opera como um compressor de fluxo axial usado em motores a jato. Um conjunto de lâminas móveis, separadas por lâminas estacionárias, giram em alta velocidade (da ordem de 60.000 rpm), recebendo e comprimindo o gás e entregando-o a uma segunda bomba (tipicamente uma bomba de deslocamento positivo, como a bomba de palhetas rotativas). Bombas turbomoleculares são projetadas para operar em condições de fluxo molecular e podem atingir pressões da ordem de 10-10 mbar. (pt)
- Турбомолекуля́рний насо́с (ТМН) (англ. turbomolecular pump) — один з видів вакуумних насосів кінетичного типу, у якому молекулам газу, що відкачується, імпульс руху передається так, що газ безперервно переміщується від входу до виходу насоса. Служить для створення й підтримання високого вакууму. (uk)
|
| dbo:thumbnail
| |
| dbo:wikiPageExternalLink
| |
| dbo:wikiPageID
| |
| dbo:wikiPageLength
|
- 11954 (xsd:nonNegativeInteger)
|
| dbo:wikiPageRevisionID
| |
| dbo:wikiPageWikiLink
| |
| dbp:wikiPageUsesTemplate
| |
| dcterms:subject
| |
| gold:hypernym
| |
| rdf:type
| |
| rdfs:comment
|
- Eine Turbomolekularpumpe ist eine mechanische Vakuumpumpe. Sie arbeitet, indem sie das Pumpgas in einer molekularen Strömung fördert, arbeitet also wie die von Wolfgang Gaede 1913 erfundene Molekularpumpe. Sie ist im Kern ähnlich wie eine Turbine aus runden, koaxial liegenden Rotor- und Statorscheiben (aus radial verlaufenden gekippten Blättern) aufgebaut, die abwechselnd aufeinander folgen, und auf der Rotorachse bzw. im Pumpengehäuse befestigt sind. Der elektrische Antriebsmotor befindet sich auf der Rotorachse. Namensgebend ist die geometrisch turbinenartige Ausformung. Sie wurde 1956 von Willi Becker erfunden. (de)
- Una bomba turbomolecular es un tipo de bomba de vacío, con algunas similitudes generales con una turbobomba, que se utiliza para obtener y mantenerun alto vacío. Estas bombas funcionan en base al principio de que es posible transferir momento a las moléculas de gas en una dirección determinada mediante choques sucesivos contra una superficie móvil sólida. En una bomba turbomolecular, el rotor de una turbina que gira a gran velocidad golpea a las moléculas de gas y las impulsa desde la entrada de la bomba hacia su descarga de cara a crear o mantener las condiciones de vacío. (es)
- Une pompe turbomoléculaire est un type de pompe à vide, n'ayant aucun rapport avec une turbopompe, utilisée pour tirer et maintenir une enceinte sous vide poussé, jusqu'à 10−7 Pa. Le pompage, ou plutôt la compression puisqu'il s'agit d'un gaz, s'effectue à l'aide d'une multitude d'étages de rotor en rotation et de parties statoriques de redressement fixes. (fr)
- A turbomolecular pump is a type of vacuum pump, superficially similar to a turbopump, used to obtain and maintain high vacuum. These pumps work on the principle that gas molecules can be given momentum in a desired direction by repeated collision with a moving solid surface. In a turbomolecular pump, a rapidly spinning fan rotor 'hits' gas molecules from the inlet of the pump towards the exhaust in order to create or maintain a vacuum. (en)
- Le pompe turbomolecolari, introdotte nel 1958, sono delle pompe secondarie per alto vuoto, utilizzate generalmente in laboratorio o nei microscopi elettronici in sostituzione della pompa a diffusione di vapore, rispetto alle quali hanno minori problemi di contaminazione grazie all'assenza del fluido da vaporizzare. Le pompe turbomolecolari sono delle pompe assiali a trascinamento in cui il rotore è formato da vari dischi equipaggiati di alette, i quali ruotano tra i dischi dello statore, pure equipaggiati di alette inclinate in senso opposto. La del rotore è dell'ordine della velocità del suono del gas da evacuare. (it)
- Pompa turbomolekularna – pompa próżniowa pozwalająca uzyskiwać wysokiej jakości próżnię. (pl)
- Турбомолекулярный насос — один из видов вакуумных насосов, служащий для создания и поддержки высокого вакуума.Действие турбомолекулярного насоса основано на сообщении молекулам откачиваемого газа дополнительной скорости в направлении откачки вращающимся ротором. Ротор состоит из системы дисков. Вакуум, создаваемый турбомолекулярным насосом, — от 10 −2 Па до 10−8 Па (10−10 мбар; 7,5 −11 мм рт ст). Скорость вращения ротора — десятки тысяч оборотов в минуту. Для работы требует применения форвакуумного насоса. (ru)
- Bomba turbomolecular é um tipo de bomba de vácuo (bomba de transferência de momento) que opera como um compressor de fluxo axial usado em motores a jato. Um conjunto de lâminas móveis, separadas por lâminas estacionárias, giram em alta velocidade (da ordem de 60.000 rpm), recebendo e comprimindo o gás e entregando-o a uma segunda bomba (tipicamente uma bomba de deslocamento positivo, como a bomba de palhetas rotativas). Bombas turbomoleculares são projetadas para operar em condições de fluxo molecular e podem atingir pressões da ordem de 10-10 mbar. (pt)
- Турбомолекуля́рний насо́с (ТМН) (англ. turbomolecular pump) — один з видів вакуумних насосів кінетичного типу, у якому молекулам газу, що відкачується, імпульс руху передається так, що газ безперервно переміщується від входу до виходу насоса. Служить для створення й підтримання високого вакууму. (uk)
- ターボ分子ポンプ（ターボぶんしポンプ、英語：turbomolecular pump、略称：TMP）は機械式真空ポンプの一種で、金属製のタービン翼を持った回転体であるロータが高速回転し、気体分子を弾き飛ばすことによりガスを排気するポンプである。JISではこのような排気方式を「運動量輸送式」の真空ポンプと呼んでいる。 ターボ分子ポンプは、1912年にドイツのW.ゲーデによって機械式高真空ポンプの起源となる分子ポンプが考案され、その後、同じくドイツのW.ベッカーが1955年にタービン翼を有するターボ分子ポンプ(TMP)を考案、これが1958年に商品化されたのが最初といわれる。 動作原理は、斜めに配置されたタービン翼を高速回転（数万rpmに達する）させて吸気から排気への通過確率(A)と排気から吸気への通過確率(B)に差をつける事で圧力差を発生させる。設計上の排気速度は（開口面積×11.6×A/（B×p））となる（pは圧力上昇分）。翼の角度と回転数（翼速度）をモンテカルロ法などで計算すると、翼角度大＝排気速度大、圧縮比小。翼角度小＝排気速度小、圧縮比大となってくる。到達圧力は 10−7Pa (10−10Torr)程度。 磁気浮上型は
* 完全にオイルフリー
* 取り付け方向の自由度が高い（逆さまや横向きでも設置可能） (ja)
|
| rdfs:label
|
- Turbomolekularpumpe (de)
- Bomba turbomolecular (es)
- Pompa turbomolecolare (it)
- Pompe turbomoléculaire (fr)
- ターボ分子ポンプ (ja)
- Bomba turbomolecular (pt)
- Pompa turbomolekularna (pl)
- Turbomolecular pump (en)
- Турбомолекулярный насос (ru)
- Турбомолекулярний насос (uk)
|
| rdfs:seeAlso
| |
| owl:sameAs
| |
| prov:wasDerivedFrom
| |
| foaf:depiction
| |
| foaf:isPrimaryTopicOf
| |
| is dbo:wikiPageRedirects
of | |
| is dbo:wikiPageWikiLink
of | |
| is foaf:primaryTopic
of | |
