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Institut für Mikrosystemtechnik (IMTEK; "Department of Microsystems Engineering") at the University of Freiburg is Germany's largest research institute dedicated to all aspects of MEMS. It currently has more than 650 graduate students and 23 research groups,

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  • Das Institut für Mikrosystemtechnik (IMTEK) an der technischen Fakultät (11. Fakultät) der Universität Freiburg im Breisgau ist eine deutsche Forschungsstätte auf dem Gebiet der Mikro- und Nanotechnik. Mit 24 Professuren und über 370 wissenschaftlichen und technischen Mitarbeitern deckt es Fachgebiete von der Mikroelektronik über die Mikrosystemtechnik und Nanotechnik bis hin zur Mikromedizin ab. Das Institut verfügt dazu über Laboreinrichtungen und einen 600 m² großen Reinraum, der unterteilt werden kann und in den einzelnen Abteilen die Reinraumklassen 4 bis 7 nach DIN EN ISO 14644 anbietet. (de)
  • Institut für Mikrosystemtechnik (IMTEK; "Department of Microsystems Engineering") at the University of Freiburg is Germany's largest research institute dedicated to all aspects of MEMS. It currently has more than 650 graduate students and 23 research groups, (en)
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  • Institut für Mikrosystemtechnik (IMTEK; "Department of Microsystems Engineering") at the University of Freiburg is Germany's largest research institute dedicated to all aspects of MEMS. It currently has more than 650 graduate students and 23 research groups, (en)
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  • Institut für Mikrosystemtechnik (de)
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