The term Nanoelectromechanical systems or NEMS is used to describe devices integrating electrical and mechanical functionality on the nanoscale. NEMS form the logical next miniaturization step from so-called microelectromechanical systems, or MEMS devices. NEMS typically integrate transistor-like nanoelectronics with mechanical actuators, pumps, or motors, and may thereby form physical, biological, and chemical sensors.

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  • The term Nanoelectromechanical systems or NEMS is used to describe devices integrating electrical and mechanical functionality on the nanoscale. NEMS form the logical next miniaturization step from so-called microelectromechanical systems, or MEMS devices. NEMS typically integrate transistor-like nanoelectronics with mechanical actuators, pumps, or motors, and may thereby form physical, biological, and chemical sensors. The name derives from typical device dimensions in the nanometer range, leading to low mass, high mechanical resonance frequencies, potentially large quantum mechanical effects such as zero point motion, and a high surface to volume ratio useful for surface-based sensing mechanisms. Uses include accelerometers, or detectors of chemical substances in the air.
  • Les NEMS pour Nano Electro-Mechanical Systems, en français : Systèmes ElectroMécaniques Nanométriques; on parle aussi de Nanosystèmes. Ce sont des dispositifs analogues aux MEMS, mais à l'échelle du nanomètre. On parle de NEMS pour des structures mécaniques miniatures, réalisant des fonctions de capteur ou d'actionneur, dont au moins une des dimensions est de taille nanométrique. Contrairement aux MEMS qui sont développés depuis les années 1970, et utilisés dans des fonctions grand public depuis les années 1990, les NEMS sont une technologie beaucoup plus émergente auxquels les scientifiques commencent à s'intéresser dans les années 2000 et dont aucune application n'est encore sortie des laboratoires. En raison de leur taille, la physique des NEMS est différente de la physique « à l'échelle humaine ». Les forces surfaciques deviennent prédominantes et les phénomènes quantiques de même. Les nanotubes de carbone sont la matière première de nombreuses réalisations de NEMS (nano-moteur, oscillateur ultra haute fréquence).
  • NEMS（ネムスと読む。Nano Electro Mechanical Systems）は、主に半導体集積回路作製技術を用いて作製されたnmオーダーの機械構造を持つデバイスのことである。電子集積回路との集積化も可能である。 加工技術の微細化により、MEMSよりも小さな機械構造を作製できるようになり、NEMSの実現が可能となった。 材料としてはMEMSで使用されたものに加え、カーボンナノチューブやDNA、生体分子などが使用される。 今のところバイオテクノロジーやnano領域での計測、操作が主な応用先である。 MEMSデバイスの一部がnmオーダーの場合（例えばAFMのカンチレバーなど）でもNEMSと分類されることがある。 MEMSがマイクロマシンと呼ばれるのに対してNEMSはナノマシンと言われることがある。 しかし、ナノマシンは生体分子そのものやSF的な要素も含まれることがあるので、NEMSが持つ意味よりも広いと思われる。
  • 纳机电系统（英文：Nanoelectromechanical systems，简称NEMS）与 微機電系統（MEMS）概念相似，不过尺度更小。他们承诺具有革命性的能力去测量小到分子尺度的位移和力，并且与纳米科技密切相关。 有两种研究途径被研究者视为标准的NEMS研究方法。一种方法，自上而下，可以总结为“用一套工具来制作一套更小的工具”。例如，一个用毫米量级的工厂制作出来微米量级的工具，可以用来制作纳米量级的器械。另一种方法自下而上，可以被认为是组装原子和分子，使之达到期间所要求的复杂度和功能。这种过程可能用到自組裝或分子生物系统。
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  • The term Nanoelectromechanical systems or NEMS is used to describe devices integrating electrical and mechanical functionality on the nanoscale. NEMS form the logical next miniaturization step from so-called microelectromechanical systems, or MEMS devices. NEMS typically integrate transistor-like nanoelectronics with mechanical actuators, pumps, or motors, and may thereby form physical, biological, and chemical sensors.
  • Les NEMS pour Nano Electro-Mechanical Systems, en français : Systèmes ElectroMécaniques Nanométriques; on parle aussi de Nanosystèmes. Ce sont des dispositifs analogues aux MEMS, mais à l'échelle du nanomètre. On parle de NEMS pour des structures mécaniques miniatures, réalisant des fonctions de capteur ou d'actionneur, dont au moins une des dimensions est de taille nanométrique.
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  • Nanoelectromechanical systems
  • Nanosystème électromécanique
  • NEMS
  • 纳机电系统
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