Multiple patterning
subject: Category:Lithography (microfabrication)
label: Mehrfachstrukturierung @de
description: estampació múltiple per a fabricar IC
description: Technique used to increase the number of structures that may be contained on a microchip @en
label: 多重图形 @zh
hypernym: Technologies
description: технология фотолитографии, увеличивающая разрешение изображения, формируемых на полупроводнковой пластине при производстве микросхем за счёт нескольких проходов @ru