Multiple patterning
Mehrfachstrukturierung
estampació múltiple per a fabricar IC
Technique used to increase the number of structures that may be contained on a microchip
多重图形
технология фотолитографии, увеличивающая разрешение изображения, формируемых на полупроводнковой пластине при производстве микросхем за счёт нескольких проходов